PL EN


Preferencje help
Widoczny [Schowaj] Abstrakt
Liczba wyników
Tytuł artykułu

Effect of the electrode form on the MEMS structure parameters

Autorzy
Wybrane pełne teksty z tego czasopisma
Identyfikatory
Warianty tytułu
PL
Wpływ kształtu struktury MEMS na jej parametry
Języki publikacji
EN
Abstrakty
EN
Electrostatic systems with linear and angular movements are compared in this paper. Variants with rectangular and rounded up comb fingers are considered. A field analysis is performed using the 3D models of the relevant comb structures. Calculations and comparison of results show an insignificant effect of the change in microstructure form on the parameters of the system.
PL
Artykuł przedstawia porównanie układów elektrostatycznych grzebieniowych o ruchu liniowym i kątowym. W przypadku ruchu liniowego rozpatrywano przypadki zębów prostokątnych i zębów zaokrąglonych. Przeprowadzono analizę polową z wykorzystaniem modelu 2D i 3D wymienionych konstrukcji grzebieniowych. Obliczenia i porównanie wyników wykazują nieznaczny wpływ zmiany kształtu mikrostruktury na parametry układu.
Rocznik
Strony
11--13
Opis fizyczny
Bibliogr. 5 poz., rys., tab.
Twórcy
autor
  • Instytut Elektrotechniki, Zakład Maszyn Elektrycznych, ul. Pożaryskiego 28, 04-703 Warszawa, r.sulima@iel.waw.pl
Bibliografia
  • 1. Jensen B.D., Mutlu S., Miller S., Kurabayashi K., Allen J.J., Shaped comb fingers for tailored electromechanical restoring force, IEEE/ASME Journal of Microelectromechanical Systems, Volume: 12 Issue: 3, June 2003, 373 - 383
  • 2. Patterson P.R., Hah D., A scanning micromirror with angular comb drive actuation, Oral-presented at the Fifteenth IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2002), Las Vegas, Nevada, USA, January 20-24, 2002, 544-547
  • 3. Sulima R., Wiak S., Modelling of vertical electrostatic combdrive for scanning micromirrors, COMPEL, Vol. 27 no 4, 2008, 780-787
  • 4. Sulima R., Modelling the optical element of the OXC switching device based on an angular electrostatic MEMS drive, Prace Instytutu Elektrotechniki, vol. 231, 2007
  • 5. Sulima R., Structure of an electrostatic microswitch for OXC applications, Przegląd Elektrotechniczny, 85 (2009), nr 9, 350-354
Typ dokumentu
Bibliografia
Identyfikator YADDA
bwmeta1.element.baztech-article-BPS1-0049-0003
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.