Czujnik do pomiaru drgań mechanicznych z przetwornikiem elektromagnetycznym

• Autorzy: Rybak M. , Prohuń T. , Gołębiowski J.

Warianty tytułu

EN

Vibrations sensor with electromagnetic transducer

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

EN

The construction of the rectangular silicon beam with mass and the by electromagnetic transducer was described. In the silicon microsystem aluminium electrodes pattern on the beam surface was applied. The current flow by electromagnetk transducer produce magnetic field. Transducer magnetic field influence on Hall sensor. The beam vibrations caused change distance between transducer position by Hall sensor. The analysis of electromechanical system with electromagnetic transducer for low range frequency. The method of the finite elements was applied to the analysis of the microsystem. The resuits for the silicon beam, which were calculated by means of ANSYS programme are presented and discussed.

Słowa kluczowe

PL

pomiar drgań mechanicznych; czujnik hallotronowy; czujnik drgań mechanicznych; model struktury mikrokrzemowej; parametry mechaniczne materiałów

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Przegląd Włókienniczy - Włókno, Odzież, Skóra
• Rocznik: 2007
• Tom: nr 12
• Strony: 39--41
• Opis fizyczny: Bibliogr. 9 poz., rys., tab.

Twórcy

autor

Rybak M.

autor

Prohuń T.

autor

Gołębiowski J.

• Instytut Elektrotechniki Teoretycznej Metrologii i Materiałoznawstwa Politechniki Łódzkiej

Bibliografia

• 1. Hatch M. R., Matlab nad ANSYS; Chapman & Hall/CRC, 2001.
• 2. Timoshenko S.P., Goodier J.N.: Theory of Elasticity, New York McGraw-Hill, 1989.
• 3. Rybak M., Gołębiowski J., Modelowanie i symulacja mikrokrzemowej struktury elektromagnetycznego przetwornika z wykorzystaniem metody elementów skończonych, Pomiary Automatyka Kontrola nr 10bis, ss. 20-24, 2006.
• 4. Golebiowski J., Prohun T., Rybak M., Modelling of the Silicon Membrane Vibrations Generated by Means of Electromagnetic Forces WSEAS Transaction on Systems, Issue 7, vol. 3, pp. 2538-2540 September 2004.
• 5. Jyh-Cheng Yu, Chin-Bing Lan, System modeling of microaccelerometer using piezoelectric thin; Wyd. Elsevier, Sensors and Actuators A 88, ss. 178-186, 2001.
• 6. Gregusova D., Elias P., Oszi Z., Kudela R., Technology and properties of a vector hall sensor, Microelectronics Journal 37, ss. 1543-1546 ( 2006.
• 7. Wilde J., Lai Y., Design optymalization of an eddy current sensor using the finite-elements method, Wyd. Microelectronics Reliabilit 43, 2003, 345-349.
• 8. Karnopp D., Margolis D., Rosenberg R., System Dynamics, Wyd. John Wiley&Sons, INC, 2000.
• 8. Rose L. J., Ultrasonic Waves in solid media, Wyd. Cambridge University Press, 1999.