Wpływ implantacji na właściwości mikrostuktural i tribologiczne wartsw niestechiometrycznego azotku chromu CrN O4

• Autorzy: Piątkowska A. , Jagielski J. , Gawlik G. , Stebut J. von , Starczewski L. , Szudrowicz M.

Warianty tytułu

EN

Influence of ion implantation on structural and tribological properties of chromium nitride layers of non -stechiometric composition CrN o,4

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W pracy opisano właściwości warstw niestechiometrycznego azotku chromu CrN0.4 i modyfikacje ich powierzchni poprzez implantację jonami azotu.W wyniku bombardowania jonami azotu o dawkach od 0.5 do 2x10N2+/cm2 na powierzchni warstwy wyjściowej CRN0.4 powstała warstwa stechiometrycznych azotków chromu (Cr2N lub CRN) o grubościrzędu 0.2 µm .Struktura warstw powierzchniowych zaostala określona przy użyciu GXRD. Rozkłady głębokościowe pierwiastków (N, Cr, F) wyznaczono metoda AES.W celu określenia wlaściwości tribologicznych przeprowadzono badania zużyciowe w układzie "kulka -powierzchnia płaska" z kulką szafirową o średnicy 6.5 mm oraz badania mikrozarysowania ze wzrastajaca siłą nacisku.Wykazały one zmiane wlaściwości tribologicznych modyfikowanych warstw a zwłaszcza wzrost odporności na zużycie i zarysowanie i zmniejszenie współczynnika tarcia.

EN

Structural and tribological properties of nitrogen-implanted 1.4 µm thick layers of non- stoechiomeric chromium nitride CrN0.4 were studied using GXRD AES ball on flat wear/friction test and microscracthing test.The result of structural investigation revealed the amorphous structure of as-deposited layers and the formation of crystalline Cr2N and CRN phases after iron implantation. A significant reduction of wear was observed as result of ion implantation; the wear reduction is similar for all implanted samples.The surface damage caused by scratch test of the surface of ion-implanted samples is also reduced.

Słowa kluczowe

PL

warstwy azotku chromu; implantacja; tarcie; zużycie; mikrozarysowanie

EN

wear; implantation; chromium nitride layers; friction; microscratching

• Wydawca: Stowarzyszenie Inżynierów i Techników Mechaników Polskich
• Czasopismo: Tribologia
• Rocznik: 2000
• Tom: nr 4
• Strony: 575--583
• Opis fizyczny: bibliogr. 6 poz., tab., wykr.

Twórcy

autor

Piątkowska A.

autor

Jagielski J.

autor

Gawlik G.

autor

Stebut J. von

autor

Starczewski L.

autor

Szudrowicz M.

• Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych, Warszawa