Strength tests of micro-samples

• Autorzy: Oleksiuk W. , Bodnicki M.

Warianty tytułu

PL

Badania wytrzymałościowe mikropróbek

• Konferencja: Polish-Slovakian Scientific Conference : Non-classical material models in engineering design / sympozjum [VII; 4-7 September 2002; Poznań, Polska]
• Języki publikacji: EN

Abstrakty

EN

The name "micro-sample" results from its dimensions. In the paper, its values are accepted as, thickness g < 0.3 mm, width s < 3 mm, length / < 5 mm. Testing of micro-samples makes it possible to obtain information on the modulus of elasticity of anisotropic materials used in the MEMS technology. In order to determine value of the modulus a sample should be loaded and then the resultant strain measured. The subject of the paper will be an analysis of such practical ways of applying loads on micro-samples that allow us to determine a value of the modulus of elasticity with a possibly high accuracy while interferometric measurement of the strain applied.

PL

Nazwa mikropróbka wynika z jej wymiarów. W referacie przyjęto, że grubość mikroprobki g < 0,3 mm, szerokość s < 3 mm, długość l < 5 mm. Badanie mikroprobek pozwalają uzyskać informacje o module sprężystości anizotropowych materiałów stosowanych w technice MEMS. W tym celu należy mikroprobki obciążyć i zmierzyć powstałe odkształcenie. Tematem referatu będzie analiza praktycznych sposobów zadawania obciążenia takich mikroprobek, aby przy interferometrycznym sposobie pomiaru odkształcenia, móc wyznaczyć wartość modułu sprężystości z możliwie dużą dokładnością.

Słowa kluczowe

EN

microsample; modulus of elasticity; loading; strength

PL

mikropróbka; moduł sprężystości; obciążenie; wytrzymałość

• Wydawca: Wydawnictwo Politechniki Poznańskiej
• Czasopismo: Zeszyty Naukowe Politechniki Poznańskiej. Maszyny Robocze i Transport
• Rocznik: 2002
• Tom: Nr 54
• Strony: 140--146
• Opis fizyczny: Bibliogr. 3 poz.

Twórcy

autor

Oleksiuk W.

autor

Bodnicki M.

• Institute of Micromechanics and Photonics, Warsaw University of Technology