Właściwości elektryczne cienkich warstw a-C:H wytwarzanych metodą nakładania plazmowego z pentanu

• Autorzy: Pietrzyk B. , Tyczkowski J.

Warianty tytułu

EN

Electric properties a-C: H films produced by the method of plasma imposing from pentane

• Konferencja: Toruńskie Sympozjum Węglowe / sympozjum (IV; 2-4.09.1999 r.; Bachotek k. Torunia, Polska)
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Amorficzne warstwy uwodornionego węgla (o-C:H) wytwarzano z par pentanu w trójelektrodowym reaktorze plazmowym z wyładowaniem jarzeniowym o częstotliwości 20 kHz. Przeprowadzono badania przewodnictwa elektrycznego tych warstw. Ustalono, że dominującym mechanizmem przewodnictwa jest generacja Poble'a-Frenkela. Wykazano również brak w badanych warstwach występowania zjawiska przejścia: amorficzny izolator (a-I) - amorficzny półprzewodnik (a-S), obserwowanego we wszystkich innych warstwach wytwarzanych w takich samych warunkach z tctraalkilowych pochodnych wąglowców (Si, Ge, Sn, Pb). Wynik ten pozwoli lepiej zrozumieć naturę przejścia a-I-a-S.

EN

Amorphous films of hydrogenated carbon (a-C:H) generated from pcntanc vapours in tri- electrode plasma reactor with glow discharge with 20 kHz frequency. Electric conductivity of the films has been conducted. It has been determined that Poolc - Frenkcl generation is a dominating mechanism of conductivity. The lack of transfer phenomenon occurrence in investigation films was also determined: amorphous insulator (a-1) amorphous semiconductor (a-S) observed in all other films generated in the same conditions with tctra-alkalinc hydrocarbon derivatives (Si, Gc, Sn, Pb). The result will allow for better under standing of transfer nature a-1 - a- S.

Słowa kluczowe

PL

cienkie warstwy; nakładanie plazmowe; węgiel uwodorniony; właściwości elektryczne; pentan

EN

thin layer; plasma imposing; hydrogenated carbon; electrical properties; pentane

• Wydawca: Wydawnictwo Górnicze Sp. z o.o.
• Czasopismo: Karbo
• Rocznik: 2000
• Tom: Nr 4-5
• Strony: 161--164
• Opis fizyczny: Bibliogr. 20 poz.

Twórcy

autor

Pietrzyk B.

autor

Tyczkowski J.

• Centrum Badań Molekularnych i Makromolekularnych, Polska Akademia Nauk, Łódź