Model for forecasting good yield of microcircuit chips by results of test control

• Autorzy: Belous A. , Emelyanov A. , Syakersky V. , Chyhir R.

Warianty tytułu

PL

Model umożliwiający prognozowanie jakości obwodów scalonych na podstawie wyników testów kontrolnych

• Języki publikacji: EN

Abstrakty

EN

The model is proposed for forecasting good yield of microcircuit chips (IC) and the system of the quality test control of the IC technological processes. It ensures the veritable spread of the control results of the test structure parameters on the IC chips, makes it possible to perform the comprehensive quality evaluation of the individual technological fabrication operations of microcircuits, to perform optimization of the technological process and to forecast good yield of the microcircuit chips.

PL

Zaproponowano model umożliwiający prognozowanie jakości produkcji obwodów scalonych oraz kontroli ich jakości. Celem było zapewnienie istotnego rozrzutu wyników kontroli parametrów umożliwiające ocenę jakości produkcji każdego z indywidualnych procesów technologicznych, umożliwienie optymalizacji procesu oraz prognozowanie jakości.

Słowa kluczowe

EN

microelectronics; microcircuit chip

PL

mikroelektronika; jakość produkcji; obwód scalony

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Przegląd Elektrotechniczny
• Rocznik: 2008
• Tom: R. 84, nr 3
• Strony: 20--23
• Opis fizyczny: Bibliogr. 1 poz., rys., tab.

Twórcy

autor

Belous A.

autor

Emelyanov A.

autor

Syakersky V.

autor

Chyhir R.

• Research and Production Corporation "Integral", Minsk,

Bibliografia

• [1] Belous А.I., Еmel’yanov А.V., Syakersky V.S., Chyhir G.G.: Microcircuit Chip Yield Prediction Model by Test Control Results, Proc. 5th Internat. Confer. NEET, Zakopane, Poland, June 2007, p.23.