Wielowiązkowy układ do obserwacji ugięcia dźwigni macierzy czujników mikromechanicznych

• Autorzy: Małozięć G. , Gotszalk T. , Nieradka K. , Wielgoszewski G. , Sulecki P. , Radojewski J. , Grabiec P. , Janus P.

Warianty tytułu

EN

Multibeam setupfor observation of the cantilever deflection in the micromechanical sensors matrix

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W pracy przedstawiono układ do pomiaru statycznego wychylenia oraz charakterystyk rezonansowych mikrodźwigni sprężystych zintegrowanych w jednowymiarowej macierzy. Opisano budowę stanowiska do sterowania laserami półprzewodnikowymi oraz stabilizacji ich temperatury.

EN

In the paper set-up to measure static deflection and resonance characteristics of cantilevers was presented. The cantilevers was integrated in one-dimension matrix. Construction of semiconductor lasers control station and temperature controller was described.

Słowa kluczowe

PL

mikrodźwignia; macierz; laser; zasilacz; światłowód

EN

cantilever; matrix; laser; waveguide

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Przegląd Elektrotechniczny
• Rocznik: 2010
• Tom: R. 86, nr 10
• Strony: 83--85
• Opis fizyczny: Bibliogr. 5 poz., rys., wykr.

Twórcy

autor

Małozięć G.

autor

Gotszalk T.

autor

Nieradka K.

autor

Wielgoszewski G.

autor

Sulecki P.

autor

Radojewski J.

autor

Grabiec P.

autor

Janus P.

• Politechnika Wrocławska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki, Wydziałowy Zakład Metrologii Mikro- i Nanostruktur, ul. Janiszewskiego 11/17, 50-372 Wrocław,

Bibliografia

• [1] Ansari M.Z., Chongdu Cho, Design and Analysis of a High Sensitive Microcantilever Biosensor for Biomedical Applications. BioMedical Engineering and Informatics, 2008. BMEI 2008. International Conference on. Vol, 2, (2008), 593 - 597
• [2] Ocakli H.I., Ozturk A., Ozber N., Kavakli H., Alaca E., Urey H., Resonant cantilever bio sensor with integrated grating readout. Optical MEMs and Nanophotonics, 2008 IEEE/LEOS Internationall Conference on. (2008), 46 - 47
• [3] Gruca G., Klich M., Woźniak K., Zawierucha P., Zielony M., Gotszalk T., Rybka J., Grabiec P., Badanie biosensorów na bazie mikrodźwigni, IX Konferencja Technologia Elektronowa, ELTE 2007, materiały konferencyjne, Kraków, (2008), 197-200
• [4] Schroeder G., Gruca G., Wielgoszewski G., Zielony M., Zawierucha P., Świątkowski M., Masalska A., Kolanek K., Waszczuk K., Woszczyna M., Radojews k i J., Gotszalk T., Grabiec P., Rangelow I. W., Materiały supramolekularne - Mikrodźwignia sprężysta jako bioczujnik, Poznań (2008), 379-412
• [5] Wu Pan; Ning Li, Micro-cantilever array and its application in gas sensor. Microwave and Millimeter Wave Technology, 2008. ICMMT 2008. International Conference on. Vol, 3, (2008), 1547 – 1550