Microelectromechanical Transducer with Optical Readout for Magnetic Flux Density Measurements

• Autorzy: Gołębiowski J.

Warianty tytułu

PL

Mikroelektromechaniczny przetwornik indukcji pola magnetycznego na sygnał optyczny

• Języki publikacji: EN

Abstrakty

EN

The silicon cantilever with the planar coil was applied to the magnetic flux density measurements. The optoelectronic device for the measure of cantilever bending was presented and described.A coil is supplied any the direct current. The magnetic field intensity change causes the beam end displacement and changes the angle of cantilever bending. The dependence of the cantilever and external magnetic field parameters as well on the angle of the cantilever bending was investigated and analyzed.

PL

Przedstawiono mikroelektromechaniczny przetwornik z belkę krzemową i płaską cewką do pomiaru indukcji pola magnetycznego. Cewka zasilana jest ze źródła prądu stałego. Opisano system optoelektroniczny do pomiaru ugięcia belki. Zmiany natężenia pola magnetycznego powodują przemieszczenie końca belki i zmianę kąta ugięcia belki. Analizowano wpływ parametrów uzwojenia na rozkład generowanego pola magnetycznego w celu optymalizacji konstrukcji cewki.

Słowa kluczowe

EN

measuring system; measurement of magnetic flux density; optoelectronic system; fiber optical sensors

PL

MEMS; system pomiarowy; pomiar indukcji magnetycznej; układy optoelektroniczne; czujniki światłowodowe

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Przegląd Elektrotechniczny
• Rocznik: 2012
• Tom: R. 88, nr 5a
• Strony: 22--25
• Opis fizyczny: Bibliogr. 9 poz., rys., tab.

Twórcy

autor

Gołębiowski J.

• Katedra Przyrządów Półprzewodnikowych i Optoelektronicznych, Politechniki Łódzkiej Technical University of Lodz, Poland, Department of Semiconductor and Optoelectronics Devices,

Bibliografia

• [1] Tumański Sł.,Thin Film Magnetoresistive Sensors”, IOP Publication, Bristol, 2001
• [2] Judy J.W., Muller R.S., Magnetic Microactuation of Torsional Polysilicon Structures. Sensors and Actuators A, v. A53, no.1-3, pp. 392-397, 1996
• [3] Judy J.W., Muller R.S., Magnetically Actuated, Addressable Microstructures. Journal of Microelectromechanical Systems, vol. 6, no. 3, pp. 249-256, 1997
• [4] Gołębiowski J.,Microactuators Systems of Torsional Silicon Cantilever , Proc. of WSES/IEEE Int. Conf. ICRODIC, Skiathos, Greece, pp. 3281-3284, 2002
• [5] Ciudad D., Aroca C., Sanchez M.C., Lopez E., Sanchez P., Modelling and fabrication of a MEMS magnetostatic magnetic sensor, Elsevier Sensors and Actuators, A 115, pp. 408-416, 2004
• [6] Gołębiowski J., Prohuń T., Rybak M.: Modelling of the Silicon Membrane Vibrations Generated by Means of Electromagnetic Forces, WSEAS Transaction on Systems, Issue 7, vol.3, pp.2538-2540, 2004
• [7] Gołębiowski J., Prohuń T., Microsilicon Luminous Flux Switch Controlled by Means of Magnetic Field, Proceedings of INCINCO II Conference on Informatics in Control, Automation and Robotics, Barcelona, Spain, pp. 301-306, 2005
• [8] Gołębiowski J., Gozdur R., Majocha A., Micromechanical Silicon Transducer of Magnetic Field, Electrical Review, nr 9a, pp.56-60, 2011
• [9] Druart S., Flandre D., Francis L.A., A Methodology for the Simulations of MEMS Spiral Inductances used as Magnetic Sensors, Proceedings of the Comsol Conference , Paris, 2010