Metrological aspects of piezoresistors arrangements on the membrane in miniaturized pressure sensors

• Autorzy: Lozbin V. , Majewski J.

Warianty tytułu

PL

Właściwości metrologiczne piezorezystorów grubowarstwowych stosowanych w miniaturowych sensorach ciśnienia

• Języki publikacji: EN

Abstrakty

EN

A theoretical analysis concerning metrological features of thick film piezoresistors placed on circular edge-clamped membrane in pressure sensors is described. The change of resistance of a thick film piezoresistor, caused by the deflection of the membrane, related to the distance from the membrane centre and the width of the piezoresistor, is evaluated. Analytical expressions for different piezoresistors arrangements are presented and discussed.

PL

W artykule przeanalizowano wybrane właściwości metrologiczne piezorezystorów grubowarstwowych - o kształcie wycinka pierścienia kołowego lub o kształcie prostokąta - stosowanych w miniaturowych sensorach ciśnienia o membranie kołowej. Podano wzory opisujące rezystancję piezorezystorów w stanie nieobciążonym oraz poddanych odkształceniom dla różnych ich położeń na powierzchni membrany.

Słowa kluczowe

EN

thick film piezoresistors; miniaturized pressure sensors; metrological features

PL

piezorezystory grubowarstwowe; miniaturowe czujniki ciśnienia; właściwości metrologiczne

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Przegląd Elektrotechniczny
• Rocznik: 2008
• Tom: R. 84, nr 3
• Strony: 200--203
• Opis fizyczny: Bibliogr. 3 poz., rys., tab.

Twórcy

autor

Lozbin V.

autor

Majewski J.

• Politechnika Lubelska, Wydział Elektrotechniki i Informatyki, Katedra Automatyki i Metrologii,

Bibliografia

• [1] Prudenziati M., (ed.), “Thick Film Sensors”, Elsevier Science B.V., Amsterdam, The Netherlands 1994
• [2] Grimaldi C., Ryser P., Strässler S., Gauge factor of thick film resistors: outcomes of the variable range hopping model, Journ. Appl. Phys., 88 (2000), 41-64
• [3] Grimaldi C., Ryser P., Strässler S., Piezoresistive anisotropy of thick-film resistors, Journ. Europ. Ceramic Soc., 24 (2004), 1893-1896