Tytuł artykułu
Autorzy
Wybrane pełne teksty z tego czasopisma
Identyfikatory
Warianty tytułu
Obliczenia numeryczne pól elektrycznych z uwzględnieniem osobliwości w mikroukładach elektro-mechanicznych, MEMS
Języki publikacji
Abstrakty
In the simulation of micro electro mechanical systems (MEMS) the calculation of electric fields plays an important role. In many cases electric fields near corners have to be calculated. Since in these cases the singular behavior has to be taken into account they deserve special attention. An augmented finite element approach is presented and applied to an electrostatic force microscope (EFM).
Obliczenia pól elektrycznych odgrywają ważną rolę w symulacjach systemów elektro-mechanicznych, MEMS. W wielu przypadkach istnieje potrzeba obliczenia pola elektrycznego blisko narożników obiektu. W artykule przedstawiono zastosowanie rozszerzonej metody elementów skończonych do obliczania sił elektrostatycznych w mikroskopie EFM.
Wydawca
Czasopismo
Rocznik
Tom
Strony
47--49
Opis fizyczny
Bibliogr. 3 poz., rys.
Twórcy
autor
autor
autor
autor
autor
- University of Hanover
Bibliografia
- [1] G. Strang, G.J. Fix, An Analysis of the Finite Element Method, Prentice Hall, (1973)
- [2] Zi Cai Li, Numerical Methods For Elliptic Problems With Singularities, World Scientificl, (1990)
- [3] H. F. Bauer, Numerische Werte der Nullstellen der assoziierten Legendrefunktionen bezuglich der Ordnung, Prentice Hall, (1980)
Typ dokumentu
Bibliografia
Identyfikator YADDA
bwmeta1.element.baztech-article-BPOK-0015-0013