Numerical computation of electric fields including singularities in Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)

• Autorzy: Greiff M. , Maischak M. , Bala U. , Mathis W. , Stephan E.

Warianty tytułu

PL

Obliczenia numeryczne pól elektrycznych z uwzględnieniem osobliwości w mikroukładach elektro-mechanicznych, MEMS

• Języki publikacji: EN

Abstrakty

EN

In the simulation of micro electro mechanical systems (MEMS) the calculation of electric fields plays an important role. In many cases electric fields near corners have to be calculated. Since in these cases the singular behavior has to be taken into account they deserve special attention. An augmented finite element approach is presented and applied to an electrostatic force microscope (EFM).

PL

Obliczenia pól elektrycznych odgrywają ważną rolę w symulacjach systemów elektro-mechanicznych, MEMS. W wielu przypadkach istnieje potrzeba obliczenia pola elektrycznego blisko narożników obiektu. W artykule przedstawiono zastosowanie rozszerzonej metody elementów skończonych do obliczania sił elektrostatycznych w mikroskopie EFM.

Słowa kluczowe

EN

MES simulation; MEMS; electrostatics

PL

MES (metoda elementów skończonych); elektrostatyka; mikroukład elektromechaniczny

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Przegląd Elektrotechniczny
• Rocznik: 2007
• Tom: R. 83, nr 11
• Strony: 47--49
• Opis fizyczny: Bibliogr. 3 poz., rys.

Twórcy

autor

Greiff M.

autor

Maischak M.

autor

Bala U.

autor

Mathis W.

autor

Stephan E.

• University of Hanover

Bibliografia

• [1] G. Strang, G.J. Fix, An Analysis of the Finite Element Method, Prentice Hall, (1973)
• [2] Zi Cai Li, Numerical Methods For Elliptic Problems With Singularities, World Scientificl, (1990)
• [3] H. F. Bauer, Numerische Werte der Nullstellen der assoziierten Legendrefunktionen bezuglich der Ordnung, Prentice Hall, (1980)