Tytuł artykułu
Autorzy
Wybrane pełne teksty z tego czasopisma
Identyfikatory
Warianty tytułu
Obliczenia numeryczne sił elektrostatycznych w mikroukładach elektro-mechanicznych, MEMS
Języki publikacji
Abstrakty
Since the forces are one of the main parts of the interface between mechanical and electrical part, their calculation plays an important role in the simulation of micro electro mechanical systems (MEMS). In this paper an approach for the numerical calculation of electrostatic forces in MEMS is presented and applied to an electrostatic force microscope (EFM).
Siła jest głównym elementem "łączącym" obwody mechaniczne i elektryczne. Jej obliczanie odgrywa ważną rolę w symulacji mikroukładów elektro-mechanicznych (MEMS). W artykule przedstawiono numeryczne obliczenia sił elektrostatycznych w systemach MEMS na przykładzie mikroskopu EFM.
Wydawca
Czasopismo
Rocznik
Tom
Strony
18--20
Opis fizyczny
Bibliogr. 5 poz., rys.
Twórcy
Bibliografia
- [1] T. Helmich, U. Nackenhorst, Computational Methods for Coupled Problems in Approaches on electro-mechanical interface coupling, IACM, (2007)
- [2] M. Kaltenbacher, Numerical Simulation of Mechatronic Sensors and Actuators, Springer, (1983)
- [3] C.Y. Hui, J.L. Yeh, N.C. Tien, Calculation of electrostatic forces and torques in MEMS using path-independent integrals, J. Micromech. Microeng. 10, 477-482 (2000)
- [4] J.L. Coulomb, A Methodology for the Determination of Global Electromechanical Quantities from a Finite Element Analysis and its Application to the Evaluation of Magnetic Forces, Torques and Stiffness, IEEE Trans. Magn., 9 (1983), No. 6, 2514-2519
- [5] U.B. Bala, M. Greiff, W. Mathis, Hybrid Numerical Simulation of Electrostatic Force Microscopes in 3D, PIERS Tokyo (2006)
Typ dokumentu
Bibliografia
Identyfikator YADDA
bwmeta1.element.baztech-article-BPOK-0015-0005