Super-hard covering formation on metals by ion-beam assisted deposition: modeling

• Autorzy: Komarov F. , Komarov A. , Mironov A. , Zhukovski P. , Karwat C. , Aryutkin K.

Warianty tytułu

PL

Model teoretyczny procesu dynamicznego mieszania jonowego warstw tytanu na podłoża metaliczne

• Języki publikacji: EN

Abstrakty

EN

Theoretical model of the process of the ion-assisted deposition of titanium layers on the metal substrate is developed. The model allows us to make a choice of the optimal ion beam energy, the ion current density, and the rate of layer deposition in order to improve the tribological and mechanical properties of the system film/metal. Results of the modeling are compared with experimental data.

PL

W pracy przedstawiono model teoretyczny procesu dynamicznego mieszania jonowego warstw tytanu na podłoża metaliczne. Model umożliwia określenie optymalnych wartości energii jonów, gęstości prądu jonowego i szybkości osadzania warstwy w celu poprawy właściwości trybologicznych i mechanicznych układu warstwa-podłoże. Wyniki symulacji porównano z danymi doświadczalnymi.

Słowa kluczowe

EN

ion-beam assisted deposition; super-hard layers; TIN

PL

mieszanie jonowe dynamiczne; warstwy utwardzone; TIN

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Przegląd Elektrotechniczny
• Rocznik: 2010
• Tom: R. 86, nr 7
• Strony: 326--328
• Opis fizyczny: Bibliogr. 5 poz., rys., wykr.

Twórcy

autor

Komarov F.

autor

Komarov A.

autor

Mironov A.

autor

Zhukovski P.

autor

Karwat C.

autor

Aryutkin K.

• Institute of Applied Physics Problems, 7 Kurchatov Street, Minsk 220108, Belarus,

Bibliografia

• [1] H. Jiang el . al . This Solid Films, 258: 51 (1995)
• [2] F.F. Komarov, A.F. Komarov, A.M. Mironov, Reports of the Belarusian Academy of Sciences, 51, 52 (2007) (in Russian)
• [3] A.F. Burenkov, F.F. Komarov, M.A. Kumakhov, M.M. Tiomkin, Prostranstvennie Rsapredeleniya Energii Videlennoi v Kaskade Atomnikh Stolknovenii v Tverdikh Telakh (Spatial Distributions of the Energy Released in the Atomic Collision Cascade in Solids), (Moscow: Energoatomizdat) 248 (1985) (in Russian)
• [4] EB. Boiko, A.F. Komarov, F.F. Komarov, et . a l . , Zh. Tekhn. Fiz., 64: 106 (1994) (in Russian)
• [5] D.K. Brice, Nucl. Instr. Meth., 17: 289 (1986)