AFM, ESR and optic study of Sb+ ions implanted photoresist

• Autorzy: Azarko I. , Bumai J. , Volobuev V. , Zhukovski P. , Lukashevich M. , Odzhaev V.

Warianty tytułu

PL

Badania optyczne, AFM i ESR fotorezystu implantowanego jonami Sb+

• Języki publikacji: EN

Abstrakty

EN

Structure, electron spin resonance and reflection coefficient in thin films (1.8 �Ęm) of photoresist implanted by 60 keV antimony ions have been investigated in the fluence range 1x1015 . 5x1016 cm-2. Formation carbonized layer at critical fluence 5x1016 cm-2 have been observed. Thickness of implanted layer determined as 0.27- 0.39 �Ęm and refraction coefficient changes in the range 2.4 . 3.4 depending on fluence implantation.

PL

Badano strukturę, elektronowy rezonans spinowy oraz współczynnik odbicia cienkich powłok fotorezystu implantowanego jonami antymonu o energii 60 keV dawkami w zakresie 1x1015 – 5x1015 cm-2. Przy dawce krytycznej 5x1015 cm-2 zaobserwowano powstawanie warstwy osadu węgłowego. Określono grubość warstwy implantowanej: 0.27- 0.39 .m oraz zmiany współczynnika odbicia – w zakresie 2,4 - 3,4 w zależności od dawki implantacji.

Słowa kluczowe

EN

ion implantation; photoresis; optic properties; antimony

PL

implantacja jonowa; antymon; fotorezyst; właściwości optyczne

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Przegląd Elektrotechniczny
• Rocznik: 2010
• Tom: R. 86, nr 7
• Strony: 270--271
• Opis fizyczny: Bibliogr. 4 poz., rys., wykr.

Twórcy

autor

Azarko I.

autor

Bumai J.

autor

Volobuev V.

autor

Zhukovski P.

autor

Lukashevich M.

autor

Odzhaev V.

• Belorussian State University, 4. Nezavisimosti av. Minsk, Republic of Belarus,

Bibliografia

• [1] Stepanov A.L. , Khaibullin R . I . , Rev. Adv. Mater. Sci., Optics of metal nanoparticles fabricated in organic matrix by ion implantation, 7, (2004) 108-125
• [2] Popok V.N., Compositional and structural alterations of polymers under low-to-medium-energy ion implantation, Surface Science Research, (2005) 147-193
• [3] Malyshev A.Y. , Biturin M.Y. , The model of laser swelling in polymers under nanosecond impulses (in Russian) Quontum electroinics, 35, 9, (2009) 825-830
• [4] Odzhaev V.B., Kozlov I. P., Popok V.N., Sviridov D.V., Ion implantation of polymers (in Russian), Minsk, (1998) 197 p.