Powiadomienia systemowe
- Sesja wygasła!
- Sesja wygasła!
- Sesja wygasła!
- Sesja wygasła!
- Sesja wygasła!
- Sesja wygasła!
- Sesja wygasła!
Tytuł artykułu
Autorzy
Wybrane pełne teksty z tego czasopisma
Identyfikatory
Warianty tytułu
Języki publikacji
Abstrakty
W artykule przedstawiono i omówiono zastosowanie warstw diamentowych osadzanych metodą CVD w systemach typu MEMS i MOEMS. Porównano fizyczne właściwości warstw diamentowych z właściwościami krzemu. Jako przykład przedstawiono założenia i wyniki symulacji typowej struktury mikromechanicznej wytworzonej z warstwy diamentowej i warstwy krzemowej. Wszystkie symulacje zostały wykonane dedykowanym oprogramowaniem do symulacji systemów typu MEMS - CoventorWare ™.
of CVD diamond layers have been compared with silicon layer properties. As an example of diamond-based and silicon-based devices, modeling issues and results of simulations performed for typical MEMS structure have been presented and discussed. All simulations have been carried out within the specialized simulation environment - CoventorWare™.
Słowa kluczowe
Wydawca
Czasopismo
Rocznik
Tom
Strony
221--223
Opis fizyczny
Bibliogr. 8 poz., rys., wykr.
Twórcy
autor
autor
autor
autor
- Politechnika Lubelska, Katedra Elektroniki, ul. Nadbystrzycka 38d, 20-618 Lublin, m.horynski@pollub.pl
Bibliografia
- [1] Szmidt J., Technologie diamentowe. Diament w elektronice., Oficyna Wydawnicza Politechniki Warszawskiej, (2005),ISBN: 83-7207-550-6
- [2] Sussmann, Ricardo S., CVD Diamond for Electronic Devices and Sensors, John Wiley & Sons, Ltd., 78 (2009), ISBN: 978-0-470-06532-7
- [3] http://www.coventor.com
- [4] http://www.diamond-materials.com
- [5] Kohn E., Adamschik M., Schmid P., Ertl S., Floter A., Diamond electro-mechanical micro devices - technology and performance, Diamond and Related Materials, 10 (2001), 1684-1691
Typ dokumentu
Bibliografia
Identyfikator YADDA
bwmeta1.element.baztech-article-BPOC-0057-0065