Mikrofalowy generator mikrowyładowania w azocie

• Autorzy: Hrycak B. , Jasiński M. , Mizeraczyk J.

Warianty tytułu

EN

Microwave microplasma generator operated at atmospheric pressure nitrogen

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Prezentowany mikrofalowy generator mikroplazmy jest urządzeniem wytwarzającym plazmę pod ciśnieniem atmosferycznym. Mikroplazma w tym przypadku wzbudzana jest mikrofalami o częstotliwości 2,45 GHz i mocy od 40 W do 300 W. Jako gaz roboczy zastosowano azot. Długość i szerokość płomienia plazmy wynosi odpowiednio 1,5-25 mm i 1,5-10 mm. Jednym z możliwych zastosowań generatora mikroplazmy jest oczyszczanie i aktywacja materiałów.

EN

he microwave microplasma generator is a device used to produce small non-thermal plasma at atmospheric pressure. In our experiment the microplasma is generated by using 2,45 GHz microwaves at powers between 40 W to 300 W and nitrogen as the working gas. The length and diameter of plasma jet is 1,5-25 mm and 1,5-10 mm, respectively. One of the application of the microwave microplasma generator is the tissue and material treatment.

Słowa kluczowe

PL

mikroplazma; plazma generowana mikrofalowo; mikrowyładowanie pod ciśnieniem atmosferycznym

EN

microplasma; microwave plasma; plasma generator; atmospheric microdischarge

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Przegląd Elektrotechniczny
• Rocznik: 2010
• Tom: R. 86, nr 7
• Strony: 115--117
• Opis fizyczny: Bibliogr. 18 poz., rys., wykr.

Twórcy

autor

Hrycak B.

autor

Jasiński M.

autor

Mizeraczyk J.

• Instytut Maszyn Przepływowych im. R. Szewalskiego Polskiej Akademii Nauk, ul. Fiszera 14, 80-952 Gdańsk prof. dr hab. inż.,

Bibliografia

• [1] Kang J.G., Kim H.S., Ahn S.W., Uhm H.S., Development of the RF Plasma Source at AtmosphericPressure, Surface and Coating Tech., 171 (2003), 144-148
• [2] Kim J., Terashima K., Microwave Excited Nonequilibrium Atmospheric Pressure Microplasmas for Polymer Surface Modification, Proc. APSPT-4, (2002), 324-327
• [3] Yoshiki H., Generation of air microplasma jet and its application to local etching of polyimide films, Jpn. J. Appl. Phys., 45 (2006), 5618-5623
• [4] Iza F., Hopwood J., Split-Ring Resonator Microplasma: Microwave Model, Plasma Impedance and Power Efficiency, Plasma Sources Sci. Technol., 14 (2005), 397-406
• [5] Kikuchi T., Hasegawa Y., Shirai H., RF Microplasma Jet at Atmospheric Pressure: Characterization and Application to Thin Film Processing, J. Phys. D: Appl. Phys., 37 (2004), 1537-1543
• [6] Stonies R., Schermer S., Voges E., Broekaert J .A.C., A New Small Microwave Plasma Torch, Plasma Sources Sci. Technol., 13 (2004), 604-611
• [7] Stalder K.R., McMillen D.F., Woloszko J. Electrosurgical Plasmas, J. Phys. D: Appl. Phys., 38 (2005),1728-1738
• [8] Stoffel s E., Kieft I. E., Sladek R.E. J., van den Bedem L.J.M., van der Laan E.P.Steinbuch M. , Plasma needle for in vivo medical treatment: recent developments and perspectives Plasma Sources Sci. Technol., 15 (2006), S169-S180
• [9] Kothnur P.S., Raja L.L., Two-dimensional simulation of a direct-current microhollow cathode discharge, J. Appl. Phys., 97 (2005), 043305-043305-12
• [10] Brandenburg R., Wagner H.E., Morozov A.M., Kozlov K.V., Axial and Radial Development of the Microdischarges of Barrier Discharges in N2/O2 Mixtures at Atmospheric Pressure, J. Phys. D: Appl. Phys., 38 (2005), 1649-1659
• [11] Miclea M., Kunze K., Musa G., Franzke J., Niemax K., The Dielectric Barrier Discharge - a Powerful Microchip Plasma for Diode Laser Spectrometry, Spectrochim. Acta B, 56 (2001), 37-43
• [12] Benedikt J., Focke K., Yanguas-Gil A., von Keudella A., Atmospheric pressure microplasma jet as a depositing tool, Appl. Phys. Lett., 89 (2006), 251504-251504-3
• [13] Kanazawa S., Daidai R., Akamine S., Ohkubo T., Generation of microplasma jet at atmospheric pressure using a modified waveguide-based plasma torch, Surface and Coating Tech., 202 (2008), 5275–5279
• [14] Takao Y., Ono K., Takahashi K., Setsuhara Y., Microwave-sustained miniature plasmas for an ultra small thruster ,Thin Solid Films 506-507 (2006), 592-596
• [15] Goch M., Jasiński M., Mizeraczyk J., Microwave microplasma generator based on coaxial Line, Przegląd Elektrotechniczny, ISSN 0033-2097, 3 (2008), 80-82
• [16] Jasiński M., Zakrzewski Z., Mizeraczyk J., New atmospheric pressure microwave microplasma source, Acta Technica CSAV, 53 (2008), 347-354
• [17] Laux C.O., Spence T.G., Kruger C.H., Zare R.N., Optical diagnostics of atmospheric pressure air plasmas, Plasma Sources Sci. Technol., 12 (2003), 125–138
• [18] Laux C.O., Radiation and Nonequilibrium Collisional- Radiative Models, von Karman Institute Lecture Series 2002- 07, Physico-Chemical Modeling of High Enthalpy and Plasma Flows, eds. D. Fletcher, J.-M. Charbonnier, G.S.R. Sarma, and T. Magin, Rhode-Saint-Genèse, Belgium, 2002