Metoda określania właściwości rezystancyjnych planarnych układów przewodzących implantowanych jonami o zasięgu porównywalnym z grubością układu

• Autorzy: Wiśniewski R. , Wilczyńska T. , Wieteska K.

Warianty tytułu

EN

The method for interpretation of resistance properties of planar conducting elements implanted with ions of range comparable with element thickness

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W pracy przestawiono metodę określania właściwości rezystancyjnych warstw implantowanych tworzących wraz z próbką układy planarne. Zastosowano metodę analizy właściwości układu zastępczego wirtualnie oddzielonej warstwy implantowanej i reszty materiału próbki. Analizie podlegają zmiany samej rezystywności obszaru zaimplantowanego jak również jej zależności temperaturowe, ciśnieniowe i inne. Grubości warstw implantowanych muszą być znane i porównywalne z grubością badanej próbki.

EN

In the paper a method for analyze of resistive properties of implanted planar systems has been presented. A substitute resistance of virtually separated implanted layers foil and the rest of material specimen were taken under consideration. There is possible to analyze changes directly resistivity and it temperature, pressure and so on dependencies as well. The thicknesses of implanted layers have to be known and comparable with thickness of investigated specimens.

Słowa kluczowe

PL

implantacja; rezystowność; właściwości rezystancyjne

EN

implantation; resistivity; resistive properties

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Przegląd Elektrotechniczny
• Rocznik: 2010
• Tom: R. 86, nr 7
• Strony: 32--35
• Opis fizyczny: Bibliogr. 10 poz., rys., wykr.

Twórcy

autor

Wiśniewski R.

autor

Wilczyńska T.

autor

Wieteska K.

• IEA POLATOM-Świerk, 05-400 Otwock,

Bibliografia

• [1] Ziegler J.F., Ion Implantation Science and Technology, (1984) Orlando - London
• [2] Wilczyńska T., Praca doktorska, „Badania właściwości manganinu implantowanego wybranymi ciężkimi jonami, IEA, (2004), 103
• [3] Wilczyńska T, Wiśniewski R, Czachor A., Semina V, Przegląd Elektrotechniczny 3 (2008), 186-187
• [4] Internet, SRIM method of calculation
• [5] Wilczyńska T., Wiśniewski R., Wieteska K. , Słowiński B., Vacuum, 78 (2005), 515-518
• [6] Wiśniewski R., Słowi ński B., Didyk A.Yu. , Wilczyńska T., Vacuum, 81, (2007), 1199-1201
• [7] Wilczyńska T, Wiśniewski R i Semina V, Vacuum 83 (2009) 5268-5270
• [8] Wiśniewski R., Wilczyńska T., Materials Science (MIEDŹIAGORYTA), Vol. 13, No.1 (2007) 10–13
• [9] Internet, Dynasen Inc.; www.dynasen.com
• [10] Wilczyńska T., Wiśniewski R., Annual Report IEA (2007)