Tytuł artykułu
Wybrane pełne teksty z tego czasopisma
Identyfikatory
Warianty tytułu
Wpływ szybkiego wygrzewania termicznego na strukturę TiN/Ti/Si
Języki publikacji
Abstrakty
The structure-phase transformations that occur in TiN/Ti/Si system during pulse photon processing carried out with the incoherent light have been investigated using TEM method. The electrical and optical properties of C49 TiSi2 have been also studied.
Przeprowadzono badania transformacji strukturalno-fazowych, jakie występują w układzie TiN/Ti/Si podczas obróbki impulsowofotonowej światłem niespójnym przy użyciu metody elektronowej mikroskopii transmisyjnej (TEM). Badano również właściwości elektryczne i optyczne C49 TiSi2.
Słowa kluczowe
Wydawca
Czasopismo
Rocznik
Tom
Strony
26--28
Opis fizyczny
Bibliogr. 7 poz., rys., wykr.
Twórcy
autor
autor
autor
autor
autor
autor
- Institute of Physics of NAS of Belarus named after Stepanov, Minsk, Belarus, chaplanov@telecom.by
Bibliografia
- [1] Pilipenko V.A., High-Speed Heat Treatments in SLSI Technologies, Minsk: Publishing Center of BSU, (2004), 531
- [2] Pilipenko V.A., Herald of BSU n.2 (2001), 43-45
- [3] Ievlev V.M., Kushchev S.B., Herald of VSTU, (1997), Ser. Materials Science.1 (1997), 8-11
- [4] Ritterskamp P., Kuklya A., Wustkamp M., Kerpen K., Weidenthaler C., Demuth M., Angewandte Chemie International Edition, 46 n.1.41 (2007), 7770-7774
- [5] Zsoldosa E., Petõa G., Schillera V. , Vály G ., Thin Solid Films, 137 (1986), 243-249
- [6] Glen L., Miles S. , Randy W., Mann P., Bertsch J.E. , Thin Solid Films 290-291 (1996), 469-472
- [7] Levy D., Ponpon J.P., Grob A., Grob J.J., Siffert P., Physica B+C, 129 (1985), 205-209
Typ dokumentu
Bibliografia
Identyfikator YADDA
bwmeta1.element.baztech-article-BPOC-0057-0006