Aktuatory i sensory w technologii MEMS jako mikroelektromaszynowe elementy mechatroniki

• Autorzy: Napieralski A. , Szermer M. , Szaniawski M. , Olszacki M. , Maj C.

Warianty tytułu

EN

Sensors and actuators in MEMS technologies as the elements of mechatronics

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W artykule przedstawiono wybrane projekty mikromaszyn i mikrosystemów krzemowych zaprojektowanych w DMCS i wykonanych w technologiach MEMS. Należą do nich: mikrosilnik, mikropompa i mikrozwierciadło krzemowe, czujniki promieniowania podczerwonego, przetworniki elektrotermiczne, czujniki przepływu gazu, czujniki przyśpieszenia, punktowe źródła światła, tranzystory ISFET i CHEMFET a także różne warianty mikromaszynowych czujników przyśpieszenia oraz pomiaru ciśnienia wewnątrzczaszkowego.

EN

In this paper the chosen microsystems designed in DMCS and manufactured in MEMS technology have been presented. The silicon micromotor, micropump and micromirror as well as IRS- infrared radiation sensors, ETC- electro-thermal converter, GFS- gas flow sensors, AS- acceleration sensor, ISFET and CHEMFET transistors and some variants of acceleration sensors.

Słowa kluczowe

PL

mikroelektronika; mikromaszyny krzemowe; mikrosystemy krzemowe; czujniki ISFET; czujniki CHEMFET

EN

microsystems; microelectronics; nanotechnology; MEMS

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Przegląd Elektrotechniczny
• Rocznik: 2009
• Tom: R. 85, nr 9
• Strony: 279--286
• Opis fizyczny: Bibliogr. 29 poz., rys., wykr.

Twórcy

autor

Napieralski A.

autor

Szermer M.

autor

Szaniawski M.

autor

Olszacki M.

autor

Maj C.

• Politechnika Łódzka, Katedra Mikroelektroniki i Technik Informatycznych ul. Wólczańska 221/223, 90-924 Łódź,

Bibliografia

• [1] Esteve D. and. oth., Basic research for microsystems integration, Cepadues-Editions, Toulouse, France, ISBN 2-85428-465-8, (1997), 266 pages.
• [2] Napieralski A., Mikrosystemy zintegrowane w technologiach krzemowych, Elektronika 4, (2001), 3-11
• [3] Napieralski A., Daniel M., Szermer M., Ślusarczyk K., Mikromaszyny i czujniki polprzewodnikowe, LODART, (2001)
• [4] Wójciak W., Orlikowski M., Zubert M., Napieralski A., Micromachined Test Chip in CMOS MEMS Technology”, Proceedings of MIXDES’97, (1997), 499-502.
• [5] Wójciak W., Orlikowski M., Zubert M., Napieralski A., Electro-Thermal Converter in CMOS Compatible, Front Side Bulk Micromachined Technology, Proceedings of MIXDES’97, (1997), 235-240.
• [6] Abdul Wahab A. Salman, Optimization and Simulation of Electrostatic Micromotors, Rozprawa doktorska, P.Ł., (2000).
• [7] Pacholik J., Furmańczyk M., Jabłoński G., Turowski M., Grecki M., Napieralski A., Thermomechanical Design of Silicon Micropump", Proceedings of MIXDES’95, (1995), 373 - 378
• [8] Orlikowski M., Zubert M., Wójciak W., Napieralski A., General Approach to VHDL-A Modelling of Integrated Micropump, Proceedings of – THERMINIC’96, 259-260
• [9] Cichalewski W., Napieralski A., Camon H., Estibal B., Study on Mems Micro Mirro Pull-in Voltage and Angle, for Inclined and Combined (Inclined/Flat) Electrode Structure”, Proceedings of MIXDES’03, (2003),. 466-472
• [10] Szermer M., Daniel M., Napieralski A., Design and Modeling of Smart Sensor Dedicated for Water Pollution Monitoring, Proc. of Nanotech’03, (2003), San Francisco, USA, 110-114
• [11] Szermer M., Daniel M., Napieralski A., „ Modeling and simulation of Sigma-Delta Analog to Digital Converters using VHDL-AMS, Proc. of CADSM’03, Lviv-Slavsk,, (2003), 331-333
• [12] Daniel M, Janicki M, Napieralski A., Simulation of Ion Sensitive Transistors using a SPICE Compatible Model, Proc. of IEEE Sensors’03, Toronto, Kanada, (2003),543-548
• [13] Janicki M., Daniel M., Szermer M., Napieralski A., Ion sensitive field effect transistor modeling for multidomain simulation purposes, Microelectronics Journal, 35 (2004), 831-840
• [14] Szaniawski K., Napieralski A., An Approach to Design a Silicon, Low-g Microaccelerometer for Turbogenerator Vibration Measurement, Proceedings of MIXDES’2001, (2001), 99-104
• [15] Szaniawski K., Romiński A., A Capacitive Low-g Surface-Micromachined Microaccelerometer with Frequency Modulation and Digital Readout, Proc. of MIXDES’2002, (2002), 213-216
• [16] Pawłowski A., Szaniawski K., Napieralski A., Design of Mixed-Signal Microsystems for Measurement and Processing, Proceedings of MIXDES’2002, (2002), 261-264
• [17] Szaniawski K., Podsiadły P., Jabłoński G., A Methodology of Developing Reduced Linear Mechanical Models For MEMS Microstructures, Proc. of MIXDES’2002, (2002), 213-216
• [18] Szaniawski K., Podsiadły P., Napieralski A., Application of CAD Tools for Design and Simulation of Capacitive Microaccelero-meters, Proceedings of CADSM’2003, Lviv-Slavsk, Ukraine, (2003), 337-340
• [19] Szaniawski K., Napieralski A., Scalone czujniki małych drgań, Elektronizacja nr 11/2002, Warszawa
• [20] Szaniawski K., Napieralski A., P. Sękalski, Podsiadły P., Design of a Prototype of a 3 Axis Capacitive Acceleration Sensor, Proceedings of MIEL’2004, (2004),
• [21] Szaniawski K., Projektowanie i symulacja scalonych czujników wibracji i przyspieszenia. Rozprawa doktorska, Politechnika Łódzka, (2005)
• [22] Maluf N., An Introduction to Micromechanical Systems Engineering, Artech House, Boston, 2000
• [23] Park K. Y., Lee C. W., Jang H. S., Oh Y., Ha B., Capacitive type surface-micromachined silicon accelerometer with stiffness turning capability, Sensors and Actuators A (Physical) 73, (1999), 109-116
• [24] Chau K.H.L., Lewis S.R., Zhao Y., Howe R.T., Bart S.F., Marcheselli R.G., An integrated force-balanced capacitive accelerometer for low-g applications, Sensors and Actuators A 54, (1996), 472-476
• [25] Hashimoto M., A 3-Axis Silicon Piezoresistive Accelerometer, Fujikura Ltd., Sensors 1999
• [26] M. Olszacki, C. Maj, M. Al. Bahri, D. Peyrou, F. Kerrour, P. Pons, A. Napieralski, „A multi-domain piezoresistive pressure sensor design tool based on analytical models, Tech. Digest of EUROSIME’2008, Freiburg, Germany, (2008). 524-528
• [27] M. Olszacki, C. Maj, M. Al. Bahri, P. Pons, A. Napieralski, Computer Aided Optimization Tool for MEMS Pressure Sensor Design”, Proceedings of EUROSENSORS’2008, (2008), 47-50.
• [28] Michał Olszacki : „Modeling and optimization of piezoresistive pressure sensors”. Rozprawa doktorska, Politechnika Łódzka i INSA de Toulouse, (2009).
• [29] Cezary Maj: “Modelling and optimization of electrostatic membrane-based actuators”. Rozprawa doktorska, Politechnika Łódzka i INSA de Toulouse, 2009.