Badania rozkładu współczynnika załamania polimerowych struktur mikrooptycznych za pomocą systemu tomografii interferencyjnej

• Autorzy: Krajewski R. , Kujawińska M. , Kumar N. , Kozacki T. , Thienpont H.

Warianty tytułu

EN

Studies on polymer optical microstuctures refractive index distribution by means of interferometric tomography system

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W artykule przedstawione zostały wyniki pomiarów zintegrowanego dwuwymiarowego rozkładu współczynnika załamania (projekcji) elementów optycznych wykonanych za pomocą niskonakładowych technologii wytwarzania. Pomiar polega na analizie rozkładu fazy wiązki światła przechodzacej przez badaną próbkę. Do wyznaczenia rozkładu współczynnika załamania zastosowany został dedykowany algorytm kompensujący wpływ kształtu powierzchni na wynik pomiaru. Skorygowane projekcje stanowią dane wejściowe do rekonstrukcji tomograficznej n(x,y,z). Wyniki pomiarów są punktem wyjścia do zaprojektowania nowej generacji niskonakładowych układów mikrointerferometrycznych.

EN

In this paper we present the recent results of the integrated 2D refractive index distribution (projections) measurements of high aspect ratio optical structures made with low-cost fabrication techniques. Measurements methodology base on 2D integrated phase measurements by means of interferometric method. Phase distribution measurements were followed by dedicated algorithm of refractive index determining. The corrected projections captured for multiple angular position of an object are the basis for 3D tomographc reconstruction of refractive index n(x,y,z). Presented measurements play an important role in the proper modeling of the new family of low-cost microinterferometric systems.

Słowa kluczowe

PL

pomiar współczynika załamania; technologie niskonakładowe; tomografia interferencyjna

EN

refractive index measurement; low cost; fabrication techniques; interferometric tomography

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Przegląd Elektrotechniczny
• Rocznik: 2008
• Tom: R. 84, nr 5
• Strony: 161--164
• Opis fizyczny: Bibliogr. 9 poz., rys., tab., wykr.

Twórcy

autor

Krajewski R.

autor

Kujawińska M.

autor

Kumar N.

autor

Kozacki T.

autor

Thienpont H.

• Politechnika Warszawska, Instytut Mikromechaniki i Fotoniki Warszawa,

Bibliografia

• [1] Wallrabe U., Solf Ch., Mohr J., Korvink J.G., Miniaturized Fourier Transform Spectrometer for the near infrared wavelength regime incorporating an electromagnetic linear actuator, Sensors and Actuators A: Physical, Volumes 123-124, 23 September 2005, 459-467
• [2] Krajewski R. , Krezel J . et al . , Technology chain for production of low-cost high aspect ratio optical structures, Recent Advances in Mechatronics, Springer Berlin Heidelberg,2007, 658-662
• [3] Debaes C. et al Deep proton writing: a rapid prototyping polymer micro-fabrication tool for micro-optical modules, New J. Phys 8 270 (2006).
• [4] Bacher W. , Menz W. , Mohr J . , The LIGA technique and its potential for Microsystems, Industrial Electronics, Control and Instrumentation, 1994. IECON '94., 20th International Conference on, vol.3, 1466-1471
• [5] Piotter V. , Bauer W., Benzler T., Emde A. , Injection molding of components for microsystems, Microsystem Technologies, Springer Berlin / Heidelberg, Vol. 7, Number 3, 2001, 99-102
• [6] Heckele M. , Bacher W. , Muller K.D. , Hot embossing - The molding technique for plastic microstructures Microsystem Technologies 4 (1998), Springer-Verlag 1998
• [7] Desmet L., Van Overmeire S. , Van Erps J . , Ottevaere H., Debaes C., Thienpont H., Elastomeric inverse moulding and vacuum casting process characterization for the fabrication of arrays of concave refractive microlenses, J. Micromech. Microeng. 17 (2007), 81–88
• [8] Kniazewski P., Krajewski R., Kujawinska M., Van Uffelen M., Berghmans F., Thienpont H . , Application of microinterferometric tomography as an evaluation tool for phase micro-objects, Proc. SPIE Vol. 5776, p. 596-604, 2005
• [9] Kniazewski P., Gomez V., Pakula A., Ottevaere H., Kujawinska M., Thienpont H., Characterization of refractive index distribution in spherical microlenses fabricated by deep proton