PL EN


Preferencje help
Widoczny [Schowaj] Abstrakt
Liczba wyników
Tytuł artykułu

Negatywowy fotoczuly polimer do fotolitografii

Autorzy
Identyfikatory
Warianty tytułu
EN
Negative photosensitive polymer for photolitho-graphy
Języki publikacji
PL
Abstrakty
PL
Przedstawiono nowy sposób syntezy światłoczułych polimerów azydkowych stosowanych w przemyśle elektronicznym do wykonywania masek fotolitograficznych i obwodów drukowanych.
EN
The paper presents a new method of synthesis of photosensitive azide polymers used in electronic industry to manufacture photo-lithographic masks and printed circuits.
Rocznik
Tom
Strony
49--49
Opis fizyczny
Bibliogr. 5 poz.
Twórcy
  • Instytut Elektrotechniki Politechniki Szczecińskiej
Bibliografia
  • [1] Briczkin S.B.: Chimia wysokich energij. Nauka/Interperiodica 1980 nr 14
  • [2] Guillet J.: Fotofizika i fotochimia polimierow. Mir, Moskwa 1988
  • [3] Klepikov P.W.: Pozitivnyje procjesy na soljach chroma. Goskinoizdat, 1938
  • [4] Miyairi S.: Analyt. Biochem. 1979 vol. 97
  • [5] Pape M.: Industrial applications of photochemistry. Pure Appl. Chem. 1975 nr 4
Typ dokumentu
Bibliografia
Identyfikator YADDA
bwmeta1.element.baztech-article-BPOC-0015-0046
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.