PL EN


Preferencje help
Widoczny [Schowaj] Abstrakt
Liczba wyników
Tytuł artykułu

Systemy mikroelektromechaniczne - MEMS w bezprzewodowych systemach komunikacyjnych

Autorzy
Identyfikatory
Warianty tytułu
EN
Micro-electro-mechanical systems - MEMS in wireless communication system
Języki publikacji
PL
Abstrakty
PL
Przedstawiono aktualny stan techniki MEMS w zastosowaniu do realizacji scalonych systemów nadawczych i odbiorczych na zakres częstotliwości radiowych i mikrofalowych. Omówiono budowę i właściwości takich elementów MEMS, jak: kondensatory o zmiennej pojemności, spiralne cewki planarne o dużej dobroci, specjalne linie transmisyjne o małych stratach i małej dyspersji częstotliwościowej, przełączniki sygnałów w. cz. oraz mikrorezonatory i filtry. Przedyskutowano nowe architektury scalonych półprzewodnikowych systemów nadawczo-odbiorczych wykorzystywanych w komunikacji bezprzewodowej.
EN
The paper provides a present day state of the art. of MEMS techniques applied in transceiver systems realized as semiconductor integrated circuits for wireless RF and microwave communication. Among the specific MEMS devices described are variable capacitors, high Q spiral planar inductors, micromachined transmission lines with low losses and low dispersion, low-loss micromachined rf switches, microscale vibrating electromechanical resonators and band-pass filters. There are discussed also new architectures of integrated receivers and transmitters utilized in wireless communication systems.
Rocznik
Tom
Strony
152--161
Opis fizyczny
Bibliogr. 32 poz., rys., tab., wykr.
Twórcy
  • Instytut Systemów Elektronicznych, Politechnika Warszawska
Bibliografia
  • [1] Nguyen C. T. C., Katehi L. P. B., Rebeiz G. M.: Micromachined Devices for Wireless Communications, Proc. IEEE, Vol. 86, No. 8
  • [2] Larson L. E.: Microwave MEMS Technology for Next-Generation Wireless Communications - Invited Paper, 1999 IEEE MTT-S Digest
  • [3] Chiao J-C., Fu Y., Choudhury D., Lin L-Y.: MEMS Millimeterwave Components, 1999 IEEE MTT-S, Digest
  • [4] Maly W.: Atlas of 1C Technologies: An Introduction to VLSI Processes, The Benjamin/Cummings Publishing Co. Inc., Melno Park, 1987
  • [5] Dobrowolski J. A., Monolityczne mikrofalowe układy scalone - technologia, projektowanie, pomiary, WNT, Warszawa 1999
  • [6] Petersen P.: Silicon as a Mechanical Material, Proc. IEEE, Vol. 70, No. 5 May 1982.
  • [7] Bustillo J. M., Howe R. T., Muller R. S.: Surface Micromachining for Microelectromechanical Systems, Proc. IEEE, Vol. 86, No. 8, Aug. 1998
  • [8] Kim C. J., Chun K., Lee J. D., Kim C. J.: Polisilicon Surface-Modification Technique to Reduce Sticking of Microstructures, Sensors and Actuators, Vol. A52, 1996
  • [9] Lee Y. I., et al.: Dry Release for Surface Micromachining with HP Vapor-Phase Etching, Journal of Microelectromechanical Systems, Vol. 6 No. 3 1997
  • [10] Kovacs G. T. A., Maluf N. I., Petersen K. E.: Bulk Micromachining of Silicon, Proc. IEEE, Vol. 86, No. 8, Aug. 1998
  • [11] Bacher W., Men z W., Mohr J.: The LIGA Technique and its Potential for Microsystems - A Survey, IEEE Trans. Ind. Electronics, Vol. 42, No. 5, 1995
  • [12] Frian E., Meszaros S., Chuaci M., Wight J.: Computer-Aided Design of Square Spiral Transformers and Inductors, 1989 IEEE MTT-S Digest
  • [13] Von Arx J. A., Najfi K.: On-Chip Coins with Integrated Cores for Remote Inductive Powering of Integrated Microsystems, 1997 Int. Conference on Solid-State Sensors and Actuators, Chicago, IL., June 6-19,1997
  • [14] Yoon J. B., Kim B. K., Han C. H., Yoon E., Kim C. K.: Surface Micromachined Solenoid on-SI and on Glass Inductors for RF Applications, IEEE Electron Device Letters, Vol. 20, No. 9, Sept. 1999
  • [15] Weller T. M., Katehi L. P. B., Herman M. I. et al.: New results using Membrane Supported Circuits: A Ka_Band Power Amplifier and Survivabillity Testing, IEEE Trans. Microwave Theory Tech., vol. 44, 1995
  • [16] Nguyen C. T. C., Howe R.: Design and Performance of CMOS Micromechanical Resonant Oscillators, IEEE Int. Frequency Control Symp., 1994
  • [17] Chi C. Y., Rebeiz G. M.: Planar Microwave and Millimeter-Wave Lumped Elements and Coupled-Line Filters Using Micromachining Techniques, IEEE Trans. Microwave Theory Tech., Vol. 43, No. 4
  • [18] Weller T. M., Katehi L. P., Rebeiz G. M.: A 250 GHz Microshield Band-pass Filter, IEEE Trans. Microwave Theory Tech., Vol. 43, No. 3,1995
  • [19] Robertson S. V., Katehi L. P., Rebeiz G. M.: Micromachined W-Band Filter, IEEE Trans. Microwave Theory Tech., Vol. 44, No. 4,1996.
  • [20] Chi C. Y., Rebeiz G. M.: Conduction Loss Limited Stripline Resonators and Filters, IEEE Trans. Microwave Theory Tech., Vol. 44, No. 4, 1996
  • [21] Dec A., Suyama K.: A 2.4 GHz CMOS VCO Using Micromachined Variable Capacitors for Frequency Tuning, 1999 IEEE MTT-S Digest
  • [22] Kim H., Park J., Kim Y., Kwon Y.: Millimeter-Wave Micromachined Tunable Filters, 1999 IEEE MTT-S
  • [23] Petersen K. E.: Micro-Electro-Mechanical Membrane Switches on Silicon, IBM J. Res. Develop., Vol. 23, Np. 4, 1979
  • [24] Larson L. E., Hacken R. H., Lohr R. F.: Microactuators for GaAs- -Based Microwave Integrated Circuits, IEEE Sensors and Actuators Conference, 1991
  • [25] Goldsmith C., Randall J., Eshelman S., Lin T. H., i inni: Characteristics of Micromachined Switches at Microwave Frequencies, IEEE MTT-S Symp. Digest, 1996, vol. 2.
  • [26] Goldsmith C., Eshelman S., Deniston D.: Performance of Low-Loss RF MEMS Capacitive Switches, IEEE Microwave and Guided Wave Letters, vol. 8, no. 8, Aug. 1998.
  • [27] De Los Santos H. J.: Introduction to Microelectromechanical (MEM) Microwave Systems, Artech House, Boston-London, 1999
  • [28] Wu H. D., Harsh K. F., Irwin R. S., Mikelson A. R., Lee Y. C., Dobsa J. B.: MEMS Designed for Tunable Capacitors, IEEE MTT-S Symp. Digest, 1998
  • [29] Tang W. C., Nguyen T. C. H., Howe R. T.: Laterally Driven Polysilicon Resonant Microstructures, IEEE Micro Electro Mechanical Systems Workshop, Salt Lake City, 1989
  • [30] Tang W. C., Lim M. C., Howe R. T.: Electrostatically Balanced Comb Drive for Controlled Levitation, IEEE Micro Electro Mechanical Systems Workshop, Salt Lake City, 1989
  • [31] Howe R. T.: Resonant Microsensors, Transducers'87, 4th Int. Conference on Solid State Sensors and Actuators, Tokyo, Japan, 1987
  • [32] Nguyen C. T. C.: Frequency-Selective MEMS for Miniaturized Low-Power Communication Devices, IEEE Trans. Microwave Theory Tech., vol. MTT-47, Aug. 1999
Typ dokumentu
Bibliografia
Identyfikator YADDA
bwmeta1.element.baztech-article-BPOC-0010-0023
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.