Warstwy a-C:N:H na polimerach osadzane w układzie PE CVD

• Autorzy: Jonas S. , Małek A. , Konefał J. , Boszkowicz P.
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Powierzchnia polimerów może być modyfikowana za pomocą warstw węglowo azotowych (a-C:N:H) otrzymanych metodą chemicznego osadzania z fazy gazowej wspomaganej plazmowo. Warstwy były osadzane z plazmy CH4/N2/Ar generowanej falami o częstotliwości radiowej (13,56 MHz, 300 W) i mikrofalami (2,45 GHz, 2 kW). Serie eksperymentów umożliwiły wyznaczenie technologicznych parametrów procesu prowadzącego do osadzenia warstw wysokiej jakości, dobrze przyczepnych do podłoża PC, Plexi i PET. Uzyskane warstwy były przedmiotem badań strukturalnych oraz składu chemicznego, wykonanych technikami EDS i FT IR. Ustalono, że parametry chropowatości próbek z warstwami były znacznie niższe niż parametry charakteryzujące powierzchnie po trawieniu w plazmie Ar i pozostawały na tym samym poziomie lub były nieznacznie niższe niż te dla surowych powierzchni polimerowych.

EN

The paper demonstrates that polymer surface may be modified by means of carbon nitride layers (a-C:N:H) formed by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition method. The layers were deposited from CH4/N2/Ar plasma generated by radio-frequency waves (13.56 MHz) and microwaves (2.45 GHz). A series of experiments enabled determination of technological parameters appropriate to the deposit well-adhering and high quality layers on PC, Plexi and PET surface. The obtained layers were subject to structural and chemical composition studies employing energy dispersive X-ray spectroscopy (EDS) and Fourier transform infrared spectroscopy (FT IR) techniques. It was established that roughness parameters of the samples with layers were visibly lower than the parameters characterizing the surface after pre- treating with Ar plasma and remained on the same level or were slightly lower than those for raw polymer surfaces.

Słowa kluczowe

PL

technologia PE CVD; modyfikacja polimerów; warstwy węglowe

EN

PE CVD technology; polymer surface modification; carbon layers

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Inżynieria Materiałowa
• Rocznik: 2010
• Tom: Vol. 31, nr 4
• Strony: 997--1001
• Opis fizyczny: Bibliogr. 9 poz., rys., tab.

Twórcy

autor

Jonas S.

autor

Małek A.

autor

Konefał J.

autor

Boszkowicz P.

• Wydział Inżynierii Materiałowej i Ceramiki, Akademia Górniczo-Hutnicza,

Bibliografia

• [1] Schulz U., Kaiser N.: Vacuum coatings of plastic optics. Progress in Surface Science 81 (2006) 387-401.
• [2] Schmauder T., Nauenburg K. D., Kruse K., Ickes G.: Hard coatings by plasma CVD on polycarbonate for automotive and optical applications. Thin Solid Films 502 (2006) 270-274.
• [3] Kuhr M., Bauer S., Rothhaar U., Wolff D.: Coatings on plastics with the PICVD technology. Thin Solid Films 442 (2003) 107-114.
• [4] Zajickova J., Bursikova V., Perina V., Mackova A., Subedi D., Janca J., Smirnova S.: Plasma modification of polycarbonates. Surface and Coatings Technology 142-144 (2001) 449-454.
• [5] Cuong N. K., Tahara M., Yamakuci N., Sone T.: Effects of nitrogen incorporation on structure of a-C:H films deposited on polycarbonate by plasma CVD. Surface and Coatings Technology 193 (2005) 283-287.
• [6] Nowak R. M., Jonas S., Zimowski S., Tkacz-Śmiech K.: Amorphous carbon layers on polymeric substrates. Journal of Achievements in Materials and Manufacturing Engineering 25 (2007) 23-26.
• [7] Kyzioł K., Jonas S., Tkacz-Śmiech K., Marszałek K.: A role of parameters in RF PA CVD technology of a-C:N:H layers. Vacuum 82 (2008) 998.
• [8] Jonas S., Kyzioł K., Lis J., Tkacz-Śmiech K.: Stability of a-C:N:H layers deposited by RF Plasma Enhanced CVD. Solid State Phenomena 147-149 (2009) 738.
• [9] Rodil S. E.: Infrared spectra of amorphous carbon based materials. Diamond and Related Materials 14 (2005) 928-933.