Funkcjonalne gradientowe i wielowarstwowe struktury nanometrowej grubości, osadzone metodą laserowej ablacji

• Autorzy: Mróz W.

Warianty tytułu

EN

Functional gradient and multilayer structures of nanometer thickness deposited by pulsed laser deposition method

• Konferencja: Inżynieria Powierzchni, INPO 2008 ( VII; 02-05.12.2008; Wisła-Jawornik, Polska)
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Osadzanie funkcjonalnych, gradientowych i wielowarstwowych struktur nanometrowej grubości wymaga wyposażenia laboratorium w dodatkowe urządzenia, poza laserem i komorą próżniową. Osadzenie cienkich warstw z wykorzystaniem dodatkowych urządzeń w literaturze nazywa się osadzaniem hybrydowym. Laboratorium Nanotechnologii Laserowych w Instytucie Optoelektroniki WAT jest jedynym w Polsce laboratorium wyposażonym w komplet urządzeń niezbędnych do hybrydowego osadzania cienkich warstw metodą laserowej ablacji. W prezentowanej pracy zostało przedstawione laboratorium do hybrydowego nanoszenia cienkich warstw metodą laserowej ablacji (HPLD). Możliwości wynikające z zastosowania dodatkowych urządzeń przy osadzaniu warstw metodą HPLD zostały zilustrowane wynikami prac własnych.

EN

Deposition of functional, gradient and multilayer structures of nanometr thickness make laboratories for pulsed laser deposition to equipped with extra equipment except of laser and experimental chamber. Deposition of thin films with use of extra equipment in the scientific literature is named hybryd deposition. Laboratory of Laser Nanotechnology in the Institute of Optoelectronics in Military Academy of Technology (MUT) is the only In Poland laboratory equipped for hybrid deposition of thin films. Laboratory for hybrid deposition pulsed laser deposition (HPLD) of thin films is described in this article. Our experimental results were used for illustration of application of devices needed in processes of HPLD.

Słowa kluczowe

PL

osadzanie hybrydowe; metoda laserowej ablacji; struktury gradientowe; funkcjonalne struktury wielowarstwowe

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Inżynieria Materiałowa
• Rocznik: 2008
• Tom: Vol. 29, nr 6
• Strony: 699--706
• Opis fizyczny: Bibliogr. 21 poz., rys.

Twórcy

autor

Mróz W.

• Wojskowa Akademia Techniczna, Instytut Optoelektroniki, Warszawa

Bibliografia

• [1] Pulsed laser deposition of thin films, ed. by Chrisey D. B., Hubler G. K.: John Willey & Sons, INC., New York, (1994).
• [2] Pulsed laser deposition of thin films, ed. by Eason R. and John Willey & Sons, INC., USA (2007).
• [3] Mróz W., Kasperczyk J., Jelinek M., Kocourek T., Burdyńska S., Janus A. i Mróz W.: Powłoki polimerowe uzyskiwane z wykorzystaniem ablacji laserowej w warunkach kriogenicznych metodą MAPLE, Inżynieria Materiałowa 5 153 (2006) 1151-1153.
• [4] Mróz W.: Physics of deposition of hydroxyapatite layers by pulse laser deposition method, in “Functional Properties of Nanostructured Materials”, ed. by R. Kassing, P. Petkov, W. Kulisch, C. Popov, NATO Science Series II Mathematics, Physics and Chemistry. Vol. 223, Springer Netherlands (2006).
• [5] Mróz W.: Physics of growth of thin films deposited by laser ablation, Solid State Phen. 101-102 (2005) 187-196.
• [6] Major B., Mróz W., Wierzchoń T., Waldhauser W., Lackner J., Ebner R.: Pulsed laser deposition of advanced titanium nitride thin films, Surf. Coat. Technol. 180-181 (2004) 580-584.
• [7] Materials surface processing by direct energy techniques, ed. by Y. Pauleau, Elsevier (2006).
• [8] Multicomponent and mutilayered thin films for advanced microtechnologies: technics, fundamentals and devices, ed. by O. Auciello and J. Engemann, NATO ASI Series E: Applied Sciences 234 (1993).
• [9] Projektowanie i wytwarzanie funkcjonalnych materiałów gradientowych, ed. B. Major i E. Bełtowska-Lehman, PAN i IMIM PAN (2007).
• [10] Mróz W., Prokopiuk A., Kpzlow B., Czujko T., Jóźwiak S., Krzywiński J., Stöckil M. P. and Fehrenbach C.: Quantitative measurement of the chemical composition of unprepared samples, Rusing a reflectron mass analyzer with a microchannel-plate detector assembly, Rev. Sci. Instrum. 71 (2000) 1425-1428.
• [11] Mróz W.: Wpływ temperatury podłoża na strukturę warstw osadzonych z hydroksyapatytu, metodą laserowej ablacji laserem typu ArF, Inżynieria Materiałowa 5 153 (2006) 1154-1158.
• [12] Hoffman J., Mróz W., Prokopiuk A., Szymański Z.: Plasma plume induced during laser ablation of graphite, Appl. Phys. A (2008) 92: 921-926.
• [13] Jedyński M., Hoffman J., Mróz W., Szymański Z.: Plasma plume induced during ArF laser ablation of hydroxyapatite, Appl. Surf. Sci. (2008), article in press, citation No.: doi: 10.1016/j.apsusc.2008.07.070.
• [14] Rakowski R.: Laserowo plazmowe źródła promieniowania skrajnego nadfioletu i jego zastosowanie w pomiarach właściwości optycznych zwierciadeł wielowarstwowych, praca doktorska, WAT (2007).
• [15] Wyniki prac własnych IOE WAT i IMIM PAN w Krakowie.
• [16] Ciosek J., Burdyńska S., Prokopiuk A., Major B., Major Ł., Minikayev M., Przesławski T. and Mróz W.: Metastable phases and structural transitions of superthin Ti/Si and TiN/SiN multilayers deposited with ArF excimer laser system, presented at E-MRS Fall Meeting, Warsaw, 4-8 Sept. (2006).
• [17] Cwil M., Konarski P., Ciosek J.: Ion mass interferences and matrix effects on SIMS depth profiling of thin Ti/Si multilayer films induced by hydrogen, Int. J. Mass Spectrom. 263 (2007) 54-58.
• [18] Mróz W., Prokopiuk A., Burdyńska S., Jedyński M.: FTIR analysis of calcium phosphate coatings deposited in different substrate temperatures by pulsed laser ablation method using ArF laser, Int. Baltic Sea Conf. “Functional materials and nanotechnologies –FM&NT 2008, Riga, April 1-4, (2008).
• [19] Mróz W., Prokopiuk A., Mularczyk-Oliwa M., Jelinek M., Major B., Przetakiewicz W., Bojar Z., Jóźwiak S., Zasada D. and Kasuya K.: Nickel- and iron based intermetallics deposited using KrF laser, Appl. Surf. Sci. 197-198 (2002) 371-375.
• [20] Kaczorowski W., Niedzielski P., Cłapa M., Mitura S., Charakteryzacja warstw węglowych wytwarzanych metodą MW/RF PACVD, Inżynieria Materiałowa Nr 5(147) (2005) 239-241.
• [21] Mróz W., Bystrzycki J., Prokopiuk A., Wiśniewski Z.: Synthesis of nanoscale Mg-based multilayers by laser ablation for hydrogen storage studies, 14th Int. Symposium on Metastable and Nano Materials, Greece, 26-30 August (2007).