Synthesis of samarium oxide layers by MOCVD method

• Autorzy: Sawka A. , Kwatera A. , Bućko M. , Cholewa-Kowalska K. , Halski D.

Warianty tytułu

PL

Synteza warstw tlenku samaru metodą MOCVD

• Konferencja: Advanced Materials and Technologies, AMT 2007 : XVIII Physical Metallurgy and Materials Science Conference (XVIII; 18-21.06.2007; Warszawa-Jachranka, Polska)
• Języki publikacji: EN

Abstrakty

EN

This work presents results of investigations on synthesis of samarium oxide layers on quartz glass by MOCVD method using samarium tris(2,2,6,6-tetramethyl-3,5-heptanedionate) as precursor. Air and argon were used as carrier gases. Air was also necessary for elimination of carbon - solid by product of Sm(tmhd)3 pyrolisis. Sm203 layers were deposited in the range of temperatures 500-700°C. The temperature of Sm(tmhd)3 vapours was changed from 200 to 300°C. The synthesis time was 15-30 min. The other parameters of synthesis process were established in a such way to assure the value of extended criterion Grx/Rex2<0,01. This research is related to works on obtainment of a new composite electrolyte (Ce02+Sm203/Zr02+Y203) for solid oxide fuel cells (SOFC).

PL

W pracy przedstawiono wyniki badań nad syntezą warstw tlenku samaru na szkle kwarcowym metodą MOCVD z użyciem tetrametylohepanodionianu samaru jako prekursora. Powietrze i argon stosowano jako gazy nośne. Powietrze było również konieczne do eliminacji węgla - ubocznego produktu pirolizy Sm(tmhd)3. Warstwy Sm203 osadzano w temperaturach 500-700°C. Temperaturę par Sm(tmhd)3 zmieniano od 200 do300°C. Czas syntezy warstw wynosił 15-30 min. Pozostałe parametry procesu syntezy tak dobierano, by wartość rozwiniętego kryterium Grx/Rex2<0,01. Badania te związane są z pracami nad otrzymaniem nowego kompozytowego elektrolitu (Ce02+Sm203/Zr02+Y203) dla tlenkowych ogniw paliwowych (SOFC).

Słowa kluczowe

PL

synteza warstw tlenku samaru; metoda MOCVD; szkło kwarcowe

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Inżynieria Materiałowa
• Rocznik: 2007
• Tom: Vol. 28, nr 3-4
• Strony: 733--735
• Opis fizyczny: Bibliogr. 11 poz., rys.

Twórcy

autor

Sawka A.

autor

Kwatera A.

autor

Bućko M.

autor

Cholewa-Kowalska K.

autor

Halski D.

• AGH - University of Science and Technology, Faculty of Materials Science and Ceramics, Cracow, Poland,

Bibliografia

• [1] Rozhkov V.A., Trusova A., Yu., Berezhnoy I.G.: Silicon MIS structures using samarium oxide films, Thin Solid Films 325 (1998) 151-155.
• [2] Inaba H., Tagawa H.: Ceria-based electrolytes, Solid State Ionics, 83 (1996) 1-16.
• [3] Badwal S.P.S., Foger K.: Solid oxide electrolyte fuel cell review, Ceramics International 22 (1996) 257-265.
• [4] Eguchi K.: Ceramic materials containing rare earth oxides for solid oxide fuel cells, Journal of Alloys and Compounds 250 (1997) 486-491.
• [5] Kwatera A., Sawka A., Andreasik P., Juda W.: Warstwy tlenku ceru otrzymywane metoą chemicznej syntezy z fazy gazowej, Inżynieria Materiałowa 3 (2006) 471-473.
• [6] Kwatera A., Sawka A., Andreasik P., Juda W., Duszak S., Cholewa-Kowalska K., Turski P.: Badania nad syntezą warstw tlenku ceru metodą MOCVD, Inżynieria Materiałowa 5 (2006) 1107-1109.
• [7] Kwatera A., Sawka A., Andreasik P., Juda W.: Synteza warstw tlenku cyrkonu z organicznych związków cyrkonu, Ceramika 91/1 (2005) 491-494.
• [8] Sawka A., Kwatera A., Andreasik P., Juda W.: Synteza warstw ZrO2 metod􀄅 MOCVD, Inżynieria Materiałowa 3 (2006) 526-527.
• [9] Andreasik P., Kwatera A., Sawka A., Juda W.: Otrzymywanie warstw tlenku itru z terametyloheptadionianu itru (Y(tmhd)3), Inżynieria Materiałowa 5 (2005) 265-267.
• [10] Sawka A., Kwatera A., Andreasik P., Juda W.: Badania nad synteza warstw ZrO2+Y2O3 metodą MOCVD, Inżynieria Materiałowa 5 (2006) 1218-1219.
• [11] Kwatera A.: Uniform thin CVD layers of high density on the inner surface of tube-shaped substrates, Thin Solid Films 204 (1991) 313-339.