The AlMg thin films deposited by using PLD technique

• Autorzy: Radziszewska A. , Kąc S. , Kąc M.

Warianty tytułu

PL

Cienkie warstwy AlMg osadzane techniką PLD

• Konferencja: Advanced Materials and Technologies, AMT 2007 : XVIII Physical Metallurgy and Materials Science Conference (XVIII; 18-21.06.2007; Warszawa-Jachranka, Polska)
• Języki publikacji: EN

Abstrakty

EN

In the paper the systematic study of the pulsed laser deposition of P-Mg2Al3 has been carried out. The AlMg thin films were prepared on Si (100) substrates and deposited by using a Nd:YAG laser (k = 355 nm). The samples were performed with two different laser beam energy densities (4,7 and 10 J/cm2) and two different substrate (Si) temperatures (room temperature and 430 °C). The deposition time was kept at 30 min. The variation of structure, chemical composition and surface roughness of the deposited thin films is discussed. Structure and chemical composition investigation showed that the films possess generally nanocrystalline structure and that the quantity of Al and Mg changes along the film depth. The surface topography of films was varied as result of changing of the fluence value and the substrate temperature.

PL

W artykule zostały przeprowadzone systematyczne studia na temat nakładania cienkich warstw P-Mg2Al3 techniką PLD. Cienkie warstwy AlMg były nakładane, na płytki krzemowe (100), za pomocą lasera Nd:YAG ((A. = 355 nm). Próbki wykonano stosując dwie różne gęstości energii promieniowania laserowego(4,7 i 10 J/cm2) oraz różną temperaturę podłoża (Si) (20 °C i 430 °C). Czas nakładania warstw wynosił 30 min. Przedyskutowano zmiany struktury, składu chemicznego oraz chropowatości powierzchni cienkich warstw. Badania strukturalne i składu chemicznego pokazują że warstwy głównie posiadają nanokrystaliczną strukturę oraz zmiany zawartości Al i Mg na przekroju warstwy. Zastosowanie różnych gęstości energii promieniowania laserowego oraz różnej temperatury podłoża powoduje modyfikację topografii powierzchni uzyskanych warstw.

Słowa kluczowe

PL

technika PLD; cienkie warstwy Al-Mg; laser Nd:YAG; badania strukturalne; skład chemiczny

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Inżynieria Materiałowa
• Rocznik: 2007
• Tom: Vol. 28, nr 3-4
• Strony: 720--723
• Opis fizyczny: Bibliogr. 9 poz., rys.

Twórcy

autor

Radziszewska A.

autor

Kąc S.

autor

Kąc M.

• AGH University of Science and Technology,

Bibliografia

• [1] Krebs H. U., Stoermer M., Fehler S., Bremert O., Hamp M., Pundt A., Teichler H., Blum W., Metzger T. H.: Structural properties of laser deposited metallic alloys and multilayers, Applied Surface Science Vol. 109/110 (1997) 563-569.
• [2] Tanaka K., Sonobe D.: Syntesis of CdWO4 thin film showing photoluminescence at room temperature by pulsed laser ablation using photoluminescenceless CdO/WO3 mixed oxide targets:effect of plum forming condition and target-substrate distance, Applied Surface Science Vol. 40 (1999) 138-143.
• [3] Craciun V., Amirgagi S., Craciun D., Elders J., Gardeniers J.G.E., Boyd Ian W.: Effects of laser wavelength and fluance on the growth of ZnO thin films by pulsed laser deposition, Applied Surface Science Vol. 86 (1995) 99-106.
• [4] Russo R. E., Mao X., Borisov O. V.: Laser ablation sampling, in Elsevier Science B. V., Trends in Analytical Chemistry Vol. 17 (1998) 8-9.
• [5] Mao X., Chan W. T., Caetano M., Shannon M. A., Russo R. E.: Preferential vaporization and plasma shielding during nanosecond laser ablation, Applied Surface Science Vol. 96-98 (1996) 126-130.
• [6] Weaver I., Lewis C. L. S.: Aspects of particulate production from metals exposed to pulsed laser radiation, Applied Surface Science Vol. 96-98 (1996) 663-667.
• [7] Craciun V., Craciun D., Bunescu M. C., Dabu R., Boyd I. W.: Growth of highly transparent oxide layers by pulsed laser deposition: reduction of droplets density, Applied Surface Science Vol. 109/110 (1997) 354-358.
• [8] Kahl S., Krebs H.-U.: Supersaturation of single-phase crystalline Fe(Ag) alloys to 40 at. % Ag by pulsed laser deposition, Physical Review B. Vol. 63 (2001) 172103-1 –172103-4.
• [9] Conde O., Champeaux C., Parames M. L., Catherinot A., Vilar R.: UV pulsed laser deposition from Al2O3-TiC ceramic composites, Applied Surface Science Vol. 208-209 (2003) 522-526