Badania nad syntezą warstw tlenku ceru metodą MOCVD

• Autorzy: Kwatera A. , Sawka A. , Andresik P. , Juda W. , Duszak S. , Cholewa-Kowalska K. , Turski P.

Warianty tytułu

EN

Investigations n synthesis of cerium oxide layers by MOCVD method

• Konferencja: Ogólnopolska Konferencja "Nowoczesne Technologie w Inżynierii Powierzchni" (III; 3-6.10.2006; Łódź-Spała, Polska)
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W pracy prowadzono badania nad syntezą warstw tlenku ceru na szkle kwarcowym metodą MOCVD przy użyciu acetyloacetonianu ceru a także tetrametyloheptanodionianu ceru. Jako gazu nośnego i rozcieńczalnika w jednym i drugim przypadku użyto powietrza oraz argonu. Tlen zawarty w powietrzu spełniał jednocześnie rolę nośnika par reagentów oraz utleniacza węgla i wodoru wydzielających się w trakcie pyrolizy tego związku. Temperatura powietrza była zbliżona do temperatury parowalnika, co zapobiegało kondensacji par Ce(acac)3 lub Ce(tmhd)4 w instalacji CVD. Temperaturę syntezy warstw zmieniano w zakresie 300-900°C. Ciśnienie gazów w reaktorze zmieniano zaś w zakresie 10-13x104 Pa. Natężenie przepływu argonu przez parowalnik wynosiło 0,08 mol/h, natomiast powietrza doprowadzanego do reaktora 0,4-8 mol/h. Temperaturę parowalnika zmieniano w zakresie temperatur 60 - 250°C. Parametry syntezy warstw dobierano tak, by wielkość wyrażenia Grx/Rex2 <0,001. Przeświecalność próbek bez i z warstwą tlenku ceru badano w ultrafiolecie i w świetle widzialnym. Badano mikrostrukturę warstw przy użyciu mikroskopu skaningowego oraz transmisyjnego. Przeprowadzono także analizę rentgenowską

EN

Investigations on synthesis of cerium oxide layers on quartz glass substrates by MOCVD method using cerium acetyloacetonate or cerium tetramethylheptanedionate. Argon and air were used as a carrier gases and (air was also source of oxygen.- necessary for elimination of carbon). Temperature of o air was close to temperature of evaporator. The temperature of the synthesis process was changed in the range of 300-900°C and the gases preasasure in the range of 10-13xl04 Pa. Magnitude of argon flow attained about 0,08 mol/h and and air flow 0,4-8 mol/h. The temperature of evaporator was changed from 60 to 250°C. Other parameters of the synthesis process were settled to assure the value of extended criterion Grx/Rex2<0,001. The transparency of obtained samples was tested. The microstructure of these layers was examined by scanning and transmission microscopy. X-ray analysis also was performed.

Słowa kluczowe

PL

synteza warstw tlenku ceru; szkło kwarcowe; metoda MOCVD; acetyloacetonian ceru; tetrametyloheptanodionian ceru; powietrze; argon

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Inżynieria Materiałowa
• Rocznik: 2006
• Tom: Vol. 27, nr 5
• Strony: 1107--1109
• Opis fizyczny: Bibliogr. 4 poz., rys.

Twórcy

autor

Kwatera A.

autor

Sawka A.

autor

Andresik P.

autor

Juda W.

autor

Duszak S.

autor

Cholewa-Kowalska K.

autor

Turski P.

• Kwatera, A. - Wydział Inżynierii Materiałowej i Ceramiki, Akademia Górniczo-Hutnicza,

Bibliografia

• [1] S.C. Singhal: Advances in Solide Oxide Fuell Celi Technology, Solid State łonie 135(2000)305-313
• [2] N. Maffei, A. K. Kuriakose: Solid oxide fuel cells of ceria-doped with gadolinium and prasedymium. Solid State lonics 107, 1998, 67 z użyciem
• [3] Kwatera A.: Uniform Thin CVD Layers of High Density on the Inner Surface of Tubę Shaped Substrates. Thin Solid Films 204, 1991,313
• [4] Kwatera A.: Modelowanie chemicznego osadzania cienkich warstw z fazy gazowej w warunkach kontrolowanych dyfuzją reagentów do podłoża. Zeszyty Naukowe AGH- Ceramika 62, 1991