Synteza warstw ZrO2 metodą MOCVD

• Autorzy: Sawka A. , Kwatera A. , Andreasik P. , Juda W.

Warianty tytułu

EN

Synthesis ZrO2 layers by MOCVD method

• Konferencja: Krajowa Konferencja, "Nowe Materiały - Nowe Technologie w Przemyśle Okrętowym i Maszynowym" (III; 28.05 - 01.06.2006; Międzyzdroje, Polska)
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Warstwy tlenku cyrkonu na rurkach ze szkła kwarcowego otrzymywano metodą MOCVD z użyciem acetyloacetonianu cyrkonu (Zr(acac)4) i powietrza przy obniżonym ciśnieniu. Odpowiednio dobrane parametry procesu pozwoliły uzyskać krystaliczne warstwy już w temperaturze ok. 600 stopni C. Otrzymane warstwy badano przy użyciu mikroskopu skaningowego. Przeprowadzono również analizę rentgenowską tych warstw. Przewiduje się, że zastosowana technologia nanoszenia warstw tlenku cyrkonu może być przydatna do otrzymania kompozytowego elektrolitu dla tlenkowych ogniw paliwowych nowej generacji.

EN

Zirconium oxide layers were deposited on quartz glass substrates by MOCVD method using zirconium acetyloacetonate (Zr(acac)4 and air under reduced pressure. Polycrystalline layers were obtained at temperature of 600 degree C. They were examined by scanning microscopy. X-ray analysis of obtained layers was also performed. It seems that this way of deposition of zirconium oxide layers’ ll be useful to obtain new electrolyte for SOFC.

Słowa kluczowe

PL

synteza warstw ZrO2; metoda MOCVD

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Inżynieria Materiałowa
• Rocznik: 2006
• Tom: Vol. 27, nr 3
• Strony: 526--527
• Opis fizyczny: Bibliogr. 7 poz., rys.

Twórcy

autor

Sawka A.

autor

Kwatera A.

autor

Andreasik P.

autor

Juda W.

• Akademia Górniczo - Hutnicza, Wydział Inżynierii Materiałowej Ceramiki,

Bibliografia

• [1] Badwal S. P., Foger K.: Solid oxide electrolyte fuel cell review. Ceramics International 22, 1996, 257
• [2] Suza S. Visco S. J. Jonghe L. C.: Thin film solid oxide fuel cell with high performance at low temperature. Solid State Ionics 98, 1997, 57
• [3] Yamamoto O.: Solid oxide fuel cells: fundamental aspects and prospects. Electrochimica Acta 45, 2000, 2423
• [4] Singhal S.C.: Advanced in solid oxide fuel cell technology. Solid State Ionics 135, 2000, 305
• [5] Atkinson A.: Chemically-induced stress in gadolinum-doped ceria solid oxide fuel cell electrolytes. Solid States Ionics, 95, 1997, 249
• [6] Wang S., Kato T., Nagata S., Koneko T., Iwashita N., Honda T., Dokiya M.: Electrodes and performance analysis of ceria electrolyte SOFC. Solid State Ionics 152-153, 2002, 477
• [7] Kwatera A.: Uniform Thin CVD Layers of High Density on the Inner Surface of Tube Shaped Substrates. Thin Solid Films 204, 1991, 313