Metoda eliminacji efektów destabilizujących pracę gazowego czujnika z akustyczną falą powierzchniową.

• Autorzy: Hechner J.
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Przedstawiono wyniki badań dotyczących selektywności i jednoznaczności wyjrywania NO2 czujnikiem z AFP na podłożu z niobianu litu o orientacji 128YX. Funkcję warstwy chemicznie czułej pełni ftalocyjanina miedzi (PcCu). Zastosowana konfiguracja czujnika bazuje na podwójnej linii opóźniającej, w której jedna z linii pokryta warstwą PcCu jest linią pomiarową, a druga będąca linią odniesienia zawiera warstwę Al+PcCu. W przypadku proponowanej konfiguracji zmiana sygnału wyjściowego wynika ze zmian przewodnictwa warstwy osadzonej bezpośrednio na podłożu piezoelektrycznym, a pozostałe efekty są kompensowane.

EN

In this paper some problems concerning work selectivity, clarity of SAW NO2 sensors employing copper phthalocyanine (PcCu) as the chemical interface and 128YX lithium niobate as substrate are presented. The propsed sensing element consists of two delay lines: ine of them is covered with a chemical coating (PcCu), the another is covered with Al and then PcCu. In this case a respone of the sensor depends only on the conductivity changes of the PcCu layer during NO2 exposure. Other effects are identical and therefore are canceled.

• Wydawca: Sieć Badawcza Łukasiewicz - Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych
• Czasopismo: Materiały Elektroniczne
• Rocznik: 2000
• Tom: T. 28, nr 4
• Strony: 51--62

Twórcy

autor

Hechner J.

• Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych, 01-919 Warszawa, ul. Wólczyńska 133,