Rozwinięcie i zastosowanie darwinowskiej teorii dyfrakcji promieni rentgenowskich do określania struktury i składu chemicznego kryształów wielowarstwowych.

• Autorzy: Wójcik M. , Gaca J. , Turos A. , Strupiński W.
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Opracowaną rentgenowską metode badania składu chemicznego wielowarstwowych czteroskładnikowych kryształów związków półprzewodnikowych z zastosowaniem szybkich algorytmów obliczania rentgenowskiego profilu dyfrakcyjnego. Metodę zastosowano do wyznaczania profilu składu chemicznego w kierunku wzrostu supersieci InGaAsP/InP wytworzonych metodą MOCVD na podłożu InP o orientacji 001.

EN

The method of investigation of the chemical composition for quaternaryheterostructures has been developed. To this end X-ray high resolution diffractomeryand RBS methods were applied. This method consists in finding a best fit between experimental diffraction pattern and theoretical one calculated, employing Darwin dynamical diffraction theory for a given model of heterostructure. This procedure was applied to determine the chemical profile in the growth direction for InGaAsP/InP superlattices that were grown by MOCVD technology on 001 InP substrate.

• Wydawca: Sieć Badawcza Łukasiewicz - Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych
• Czasopismo: Materiały Elektroniczne
• Rocznik: 2000
• Tom: T. 28, nr 3
• Strony: 20--49

Twórcy

autor

Wójcik M.

autor

Gaca J.

autor

Turos A.

autor

Strupiński W.

• Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych, 01-919 Warszawa, ul. Wólczyńska 133,