WOPT - uniwersalny system do analizy i symulacji widm optycznych cienkich struktur dielektrycznych

• Autorzy: Bogdanowicz R. , Gnyba M. , Wroczyński P. , Torliński L.

Warianty tytułu

EN

WOPT - universal tool used for optical spectra of thin dielectric structures simulation and analysis

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Przedstawiono system WOPT umożliwiający symulację złożonych, dielektrycznych powłok cienkowarstwowych. Oprogramowanie służy zarówno do projektowania specjalistycznych wielowarstwowych powłok optycznych jak i do kontroli parametrów gotowych produktów cienkowarstwowych. Za pomocą programu można wykonać analizę grubości oraz optycznych parametrów materiałowych powłok dielektrycznych na postawie wykonanych pomiarów spektralnych. Wykonano badania efektywności algorytmu dla rzeczywistych pomiarów spektrometrycznych. Potwierdzono możliwość wyznaczania grubości struktur umieszczonych w próżni, w cieczach oraz osadzonych na podłożach o różnej grubości. Wykonano badania wpływu parametrów algorytmu na szybkość i dokładność obliczeń widm optycznych, grubości oraz optycznych parametrów warstw.

EN

The WOPT software enabling the simulation optical spectrums of thin dielectric layers was described. The soft-ware serves both for designing specialist multilayered optical covers and for the control of parameters of thin-layered products. With the help of the program it is possible to carry out analysis of the thickness and optical solid material dielectric covers of spectral measurements on the attitude carried out. Examining the effectiveness of the algorithm was carried out using spectral measurements. The possibility of estimation of the thickness of structures was confirmed in the vacuum, in liquids and prisoners on different substrates with the various thicknesses. The influence investigation of parameters of the algorithm on the speed and the accuracy of calculations of optical spectrums, thickness and solid optical a layers were made.

Słowa kluczowe

PL

WOPT; algorytm symulacji reflektancji warstw; analiza widm optycznych

EN

WOPT; optical spectrums; thin dielectric layers

• Wydawca: Wydział Elektroniki, Telekomunikacji i Informatyki Politechniki Gdańskiej
• Czasopismo: Zeszyty Naukowe Wydziału ETI Politechniki Gdańskiej. Technologie Informacyjne
• Rocznik: 2007
• Tom: T. 14
• Strony: 573--580
• Opis fizyczny: Bibliogr. 8 poz., rys.

Twórcy

autor

Bogdanowicz R.

autor

Gnyba M.

autor

Wroczyński P.

autor

Torliński L.

• Katedra Optoelektroniki i Systemów Elektronicznych, Politechnika Gdańska

Bibliografia

• [1] Weber M. J., "Handbook of Optical Materials", The CRC Press, Boca Raton, London, New York, Washington, D.C., 2003,
• [2] Willey R.R., "Practical Design and Production of Optical Thin Films" 2nd Edition, Marcel Dekker, New York, 2002,
• [3] Tompkins H.G., McGahan W.A., "Spectroscopic Ellipsometry and Reflectometry - A User's Guide", John Wiley & Sons, Inc., 1998,
• [4] Macleod H.A., "Thin Film Optical Filters" 3rd Edition, Institute of Physics Publishing, Bristol and Philadelphia, 2001
• [5] Rzodkiewicz W., Kudła A., Misiuk A., Lanisz S., Proc. of Spie, 4517, 134, 2001.
• [6] Heavens O.S., "Thin Film Physics", Methuen & Co Ltd, London, 1970,
• [7] Mattox D.M., "Handbook of Physical Vapor Deposition (PVD) Processing", Noyes Publications, Westwood, New Jersey, 1998,
• [8] Qingshan Bie, Byung-ki Cheong, Moonkyo Chung, Zhensu Lin, Taek Sung Lee, Won Mok Kim, Soon Gwang Kim, "Determination of Optical constans of Thin Films trom Measurements of Reflectance and Transmittance", Jpn. J. Appl. Phys. Vol. 39 (2000) str. 5139 - 5143, 2000.