Stabilizacja wybranych parametrów strumienia termoelektronów w gazowych źródłach jonów

• Autorzy: Kuś D. , Sikora J.

Warianty tytułu

EN

Stabilization of selected parameters electron beam ion sources

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W pracy przedstawiono przegląd rozwiązań stosowanych w próżniomierzach jonizacyjnych i spektrometrach mas wykorzystujących strumień termoelektronów do jonizacji materii w postaci gazowej, w szczególności przykłady konstrukcji źródeł jonów oraz układów polaryzacji ich elektrod. Na podstawie wyników przeprowadzonej analizy zaproponowano nowy sposób detekcji prądu termoemisji elektronowej dla układów stabilizacji natężenia strumienia i energii elektronów.

EN

This paper presents an overview of the vacuum measurement instruments using electron - impact gas ion sources, especially examples of the ion sources and biasing systems. Based on the analysis results a new thermionic emission current detection method to implementation in stabilizer of ionizing beam intensity and electron energy has been proposed.

Słowa kluczowe

PL

próżnia; jonizacja; prąd termoemisji elektronowej; energia elektronów; stabilizator; próżniomierz jonizacyjny; spektrometr mas

EN

vacuum; ionization; thermionic electron emission current; electron energy; stabilizer; ionization gauge; mass spectrometer

• Wydawca: Wydawnictwo Politechniki Lubelskiej
• Czasopismo: Informatyka, Automatyka, Pomiary w Gospodarce i Ochronie Środowiska
• Rocznik: 2012
• Tom: nr 4a
• Strony: 15--17
• Opis fizyczny: Bibliogr. 9 poz., rys.

Twórcy

autor

Kuś D.

autor

Sikora J.

• Politechnika Lubelska, Wydział Elektrotechniki i lnformatyki,

Bibliografia

• [1] Bayard R. T., Alpert D.: Extension of the low pressure range of the ionization gauge, Rev. Sci. lnstrum., 21, 1950, pp. 571-572.
• [2] Golde W., Śliwa L.: Wzmacniacze operacyjne i ich zastosowania, cz. 1, Podstawy teoretyczne, WNT, Warszawa 1982.
• [3] Hałas S., Sikora J.: Electron emission stabiliser with double negative feedback loop. Meas. Sci. Technol. I , 1990, pp. 980-982.
• [4] Sikora J.: Dekorelacja natężenia wiązki jonizującej i energii elektronów w źródłach jonów z gorąca katodą, Wydawnictwo Politechniki Lubelskiej 2004.
• [5] Sikora J.: Układ stabilizacji prądu termoemisji elektronowej i napięcia przyspieszającego elektrony zwłaszcza dla wysokich energii elektronów, Zgłoszenie patentowe P.398424, Urząd Patentowy RP, Warszawa 2012.
• [6] Sikora J.: Dual application of a biasing system to an electron source with a hot cathode. Meas. Sci. Technol. 15, 2004, N10-N14.
• [7] Sikora J., Szczepaniak L.: Układ stabilizacji prądu termoemisji elektronowej zwłaszcza dla wysokich energii elektronow, Patent Nr 210947, Warszawa 2011.
• [8] Watanabe F.: Point collector ionization gauge with spherical grid for measuring pressures below 10-11 Pa, J. Vac. Sci. Technol., A, 5, 2, 1987, pp. 242-248.
• [9] Watanabe F.: ion spectroscopy gauge: Total pressure measurements down to 10-12 Pa with discrimination against electron-stimulated-desorption ions, J. Vac. Sci. Technol., A, 10, 1992, pp. 3333-3339.