Wytwarzanie powłok SiO2 metodą PECVD na stopach magnezu w celu zwiększenia odporności korozyjnej

• Autorzy: Kalisz M. , Grobelny M. , Dytkowicz B.

Warianty tytułu

EN

Preparation of SiO2 coatings, by using PECVD technique, for magnesium alloys to improve corrosion resistance

• Konferencja: Ogólnopolska Konferencja "Korozja 2011" (10 ; 12-16.06.2011 ; Rytro, Polska)
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W pracy przedstawiono wpływ powłok SiO2 wytworzonych w procesie plazmowym PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition), z wykorzystaniem plazmy wysokiej częstotliwości (13,56 MHz), na właściwości korozyjne stopów magnezu AZ31, AZ32, AZ91. Na każdym ze stopów Mg wykonano powłoki SiO2 o trzech grubościach: 12, 22 i 44 nm. Właściwości korozyjne badanych powłok określono na podstawie analizy krzywych woltamperometrycznych. Uzyskane wyniki pokazują wzrost odporności korozyjnej stopów magnezu, wraz ze wzrostem grubości osadzonej powłoki tlenkowej. Największy spadek wartości gęstości prądu korozyjnego zaobserwowano dla stopu AZ91 z powłoką tlenkową o grubości 44 nm. Dla pozostałych stopów magnezu wartości gęstości prądu korozyjnego, dla tej powłoki, również spadają ale w znacznie mniejszym stopniu. We wszystkich przypadkach natomiast tj. dla czystych stopów jak i dla stopów wraz z powłoką tlenkową zaobserwowano występowanie korozji wżerowej.

EN

In this work, the influence of SiO2coatings produced in the radio frequency plasma PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) on the corrosion properties of magnesium alloys AZ31, AZ32 and AZ91, has been reported. At each Mg alloy the SiO2 coatings with three different thicknesses: 12, 22 and 44 nm, was performed. Corrosion properties of investigated coatings was based on analysis of the voltammetric curves. Presented results have shown an increase in corrosion resistance of magnesium alloys, with increasing thickness of the deposited oxide film. The largest decrease of corrosion current was observed for the AZ91 alloy coated with an oxide thickness of 44 nm. For other values of magnesium alloys corrosion current decreased but in a much lesser extent. In all cases, for pure alloys and for alloys with the oxide coating was observed pitting corrosion.

Słowa kluczowe

PL

odporność korozyjna; proces plazmowy; metody elektrochemiczne; stopy magnezu

EN

corrosion resistance; PECVD; electrochemical methods; magnesium alloys

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Ochrona przed Korozją
• Rocznik: 2011
• Tom: nr 6
• Strony: 275--277
• Opis fizyczny: Bibliogr. 6 poz., il.

Twórcy

autor

Kalisz M.

autor

Grobelny M.

autor

Dytkowicz B.

• Instytut Transportu Samochodowego, Warszawa,

Bibliografia

• 1. Y.T. Kim et al., "PECVD SiO2 and SiON films dependant on the rf bias Power for lowloss silica waveguide" Thin Solid Films 475, 271-274 (2005)
• 2. A. Boogaard, "Plasma-enhanced chemical vapour deposition of silicon dioxide: Optimizimg dielectric films through plasma characterization" Ph.D Thesis, MESA+ Institute for Nanotechnology (2011)
• 3. J. Olivares Roza et al., "Plasma assisted chemical vapour deposition silicon oxide films grown from SiH4 + NH3 + O2 gas mixtures" Journal of Vacuum Science and Technology A, 16, 2757-2761 (1998)
• 4. M. Jagadesh Kumar et al., "Selective Reactive Ion Etching of PECVD silicon nitride over amorphous silicon in CF4/H2 and nitrogen containing CF4/H2 plasma gas mixtures" Solid State Electronics 39, 1, 33-37 (1996)
• 5. X.L. Zhang, Zh.H. Jiang, Zh.P. Yao, Y. Song, Zh.D. Wu, Corrosion Science, 51, 3, (2009) 581
• 6. S.D. Cramer, S.B. Covino Jr., ASM Handbook: Corrosion: Fundamentals, Testing, and Protection, ASM International, 2003.