Elementy MEMS - problemy technologii krzemowej na przykładzie procesu projektowania i realizacji mikrourządzenia skanującego

• Autorzy: Zarzycki A. , Gambin W.
• Języki publikacji: PL

Słowa kluczowe

PL

MEMS; mikrourządzenie skanujące; skaner; technologia krzemowa; płytka krzemowa

EN

MEMS; scanner; silicon technology; silicon wafer

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT ; Sieć Badawcza Łukasiewicz - Instytut Mechanizacji Budownictwa i Górnictwa Skalnego
• Czasopismo: Przegląd Mechaniczny
• Rocznik: 2010
• Tom: nr 9
• Strony: 24--29
• Opis fizyczny: Bibliogr. 7 poz., il.

Twórcy

autor

Zarzycki A.

autor

Gambin W.

• Zakład Mechaniki Stosowanej, Instytut Mikromechaniki i Fotoniki, Politechnika Warszawska

Bibliografia

• 1. Lammel G., Schweizer S., Renaud Ph.: Optical Micro-scanners and Micro-spectrometers using Thermal Bimorph Actuators, Kluwer Academic Publishers, Boston 2002.
• 2. Gambin W., Zarzycki A.: Urządzenie skanujące. Zgłoszenie patentowe P381999, Biuletyn Urzędu Patentowego, z. 20/2008,s. 21.
• 3. Zarzycki A.: Nowy projekt mikrozwierciadła skanującego o wysokiej precyzji sterowanego aktuatorami termobi-morficznymi. l Kongres Mechaniki Polskiej, Warszawa, 28-31 sierpnia 2007 r.
• 4. Gambin W.L., Zarzycki A.: Thermal and dynamical analysis of a new microscanner behaviour. The 1-st Int. Conf. Multi-disciplinary Design Optimization and Application, Besangon, 17-20 April 2007.
• 5. Zarzycki A., Gambin W.L.: New thermally actuated microscanner - design, analysis and simulations [in:] Recent Advances in Mechatronics, eds Jabłoński R., Turkowski M., Szewczyk R., Springer Berlin Heidelberg, 2007, pp. 526 - 530.
• 6. Gambin, W.L. and Zarzycki, A.: Optimal design and analysis of a new thermally actuated microscanner of high precision. Int. J. Simul. Multidisci. Des. Optim., Vol. 2, 2008, pp. 199-208.
• 7. Madou M.: Fundamentals of Microfabrication, CRC Press, Boca Radon, Florida, USA 1997.