Konstrukcja mikroprzełącznika elektrostatycznego do aplikacji OXC

• Autorzy: Sulima R.

Warianty tytułu

EN

Structure of electrostatic microswitch for OXC applications

• Konferencja: Kongres Elektryki Polskiej (02-04.09.2009 ; Warszawa, Polska)
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Przedstawiono opis modelu kompleksowego elektrostatycznej mikrostruktury grzebieniowej MEMS. Układ taki wykorzystywany może być jako przezroczysty przełącznik w sieciach optycznych DWDM. Przedstawiono opis modelu obwodowego oraz analizę mechaniczną z uwzględnieniem tłumienia w ośrodkach lepkich takich jak powietrze. Mikroprzełącznik charakteryzuje znikomymi oscylacjami podczas przełączania, przy odpowiednim doborze rozmiarów elementów sprężystych oraz elementów napędowych charakterystyka przełączania jest aperiodyczna.

EN

Described is the complex model of an electrostatic comb-drive microstructure MEMS. Such a system can be used as a transparent optical cross-connect in DWDM networks. Presented is description of a circuit model as well as the mechanic analysis considering damping effect in a viscous medium like air. The microswitch is characterized by minimal oscillations during switching and when elastic elements dimensions and drive elements are properly selected, its switching characteristic becomes aperiodic.

Słowa kluczowe

PL

mikroprzełącznik elektrostatyczny; konstrukcja

EN

electrostatic microswitch; structure

• Wydawca: Oficyna Wydawnicza Energia [Stowarzyszenie Elektryków Polskich - COSiW]
• Czasopismo: Spektrum
• Rocznik: 2009
• Tom: nr 9-10
• Strony: XXXIX--XLIV
• Opis fizyczny: Bibliogr. 7 poz., il.

Twórcy

autor

Sulima R.

• Instytut Elektrotechniki, Zakład Maszyn Elektrycznych

Bibliografia

• [1] Sulima R.: "Modeling Electrostatic Microactuators used for Driving Scanning Mirrors", Engineering Mechanics, Vol. 12, No A1, 2005, pp 301-308
• [2] Sulima R., Wiak S., "Modelling of vertical electrostatic combdrive for scanning micromirrors", COMPEL, Vol. 27 no 4, 2008, pp 780-787
• [3] Krapf E., All-Optical Switching Arrives.(Lucent Technologies WaveStar LambdaRouter wireless LAN/WAN bridge/ router)(Product Announcement), Business Communications Review, December, 1999
• [4] Patterson P. R., Hah D., et al: " A scanning micromirror with angular comb drive actuation", Oral-presented at the Fifteenth IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2002), Las Vegas, Nevada, USA, January 20-24, 2002 pp. 544-547.
• [5] Dyląg Z., Jakubowicz A., Orłoś Z.: "Wytrzymałość materiałów" tom 1, Wydawnictwa Naukowo-Techniczne Warszawa 1996
• [6] Veijola T., Lehtovuori A.: "Model for gas damping in air gap of RF MEMS resonators", Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, DTIP 2007, Stresa, April 24-27, pp. 156-161.
• [7] Pan F., Kubby J., Peeters E., Tran A.T., Mukherjee S.: "Squeeze film damping effect on the dynamic response of a MEMS torsion mirror", Technical Proceedings of the 1998 International Conference on Modeling and Simulation of Microsystems, Chapter 11: Applications: Microfluidics, MSM 98, pp. 474-479