Zmiana współczynnika rozpylania tarcz Be i C podczas bombardowania niskoenergetycznymi jonami In⁺

• Autorzy: Sielanko J. , Filiks J. , Hereć J.

Warianty tytułu

EN

Sputtering phenomena during the Iow energy In irradiation of Be and C

• Konferencja: Ogólnopolskie Seminarium "Techniki Jonowe" (8 ; 12-14.03.2003 ; Szklarska Poręba, Polska)
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Badano parametry implantacji niskoenergetycznych jonów indu do tarcz z lekkich pierwiastków Be i C wykorzystując do pomiarów spektrometr SIMS. Porównano dane eksperymentalne z obliczeniami przy użyciu programu komputerowego SATVAL.

EN

Experimental data of sputtering investigations of the light targets, such as berylium and graphyte, during low energy indium ions bombardment are compared with the computer simulation results. The relative sputtering yield of In atoms - implanted due to irradiation of the target by the In ion primary beam - was measure as a function of irradiation dose. The experiment was performed by the use of the SIMS technique. For the computer simulations purpose we used SATVAL code.

Słowa kluczowe

PL

implatancja niskoenergetyczna; współczynnik rozpylania; symulacja komputerowa; program SATVAL; TRIDYN

EN

Iow energy implatation; sputtering yield; computer simulation; SATVAL; TRIDYN

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2003
• Tom: Vol. 44, nr 11
• Strony: 27--29
• Opis fizyczny: Bibliogr. 4 poz., il.

Twórcy

autor

Sielanko J.

• Instytut Fizyki, Uniwersytet Marii Curie-Skłodowskiej, Lublin

autor

Filiks J.

• Instytut Fizyki, Uniwersytet Marii Curie-Skłodowskiej, Lublin

autor

Hereć J.

• Instytut Fizyki, Uniwersytet Marii Curie-Skłodowskiej, Lublin

Bibliografia

• 1. W. Eckstein: Nucl. Instr. and Meth. B 171 (2000) 435.
• 2. W. Mӧller, W. Eckstein, J. P. Biersack: Comp. Phys. Commun. 51 (1988) 355.
• 3. J. Sielanko, W. Szyszko: Surface Science 161 (1985) 101.
• 4. J. Sielanko, W. Szyszko: Nucl. Instr. and Meth. B 16 (1986) 340.