Fraktalna analiza profilu chropowatości powierzchni

• Autorzy: Kowalski Z. W. , Martan J. , Tabaka R.

Warianty tytułu

EN

Fractal analysis of surface roughness profile

• Konferencja: Ogólnopolskie Seminarium "Techniki Jonowe" ( 8 ; 12-14.03.2003 ; Szklarska Poręba, Polska)
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Rozpylanie jonowe, występujące podczas bombardowania powierzchni ciała stałego jonami, wpływa na strukturę geometryczna tej powierzchni. Jednym z ważniejszych elementów struktury geometrycznej jest chropowatość powierzchni. Do jej analizy coraz częściej i chętniej wykorzystywany jest rachunek fraktalny. W niniejszej pracy omówiono wpływ zmian profilu powierzchni i wysokości nierówności na wymiar fraktalny analizowanej powierzchni. Wyniki teoretyczne porównano z danymi doświadczalnymi

EN

Ion sputtering is one of the effects occurring during ion bombardment of solid state surfaces. The geometrical structure of the surface is affected by ion sputtering. It is possible to analyse the roughness of the surface by use of fractals. In this paper the influence of the profiles changes and height of the irregularities of surface on the fractal dimension is presented.

Słowa kluczowe

PL

rozpylanie jonowe; chropowatość powierzchni; wymiar fraktalny

EN

surface roughness; fractal dimension

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2003
• Tom: Vol. 44, nr 11
• Strony: 19--20
• Opis fizyczny: Bibliogr. 5 poz., il.

Twórcy

autor

Kowalski Z. W.

• Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki, Politechnika Wrocławska, Wrocław

autor

Martan J.

• Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki, Politechnika Wrocławska, Wrocław

autor

Tabaka R.

• Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki, Politechnika Wrocławska, Wrocław

Bibliografia

• 1. G. McGunnigle Surface RughnessCharacterisation www.cee.hw.ac.uk/~gmg/rough_surf/surfruf.htm
• 2. J. C. Russ: Fractal Surfaces Plenum Press, New York 1994.
• 3. G. Przybylski, J. Marian, Z. W Kowalski: Analiza fraktalna powierzchni rozpylanej jonami, VII Konferencja Naukowa Technologia Elektronowa ELTE 2000, Polanica Zdrój, 2000, 903-907.
• 4. G. Przybylski, J. Marian, Z. W Kowalski: Fractal analysis of ion-sputtered stainless steel surface, Vacuum, 70, 2003, pp. 255-261.
• 5. J. Wilk, G. Przybylski, Z. W. Kowalski: Elektronika (XLII) 7’2001, 36-37.