Modularny mikroskop tunelowy i sił atomowych do badań własności elektrycznych nanostruktur

• Autorzy: Sikora A. , Gotszalk T. , Szeloch R. , Radojewski J. , Sankowska A.

Warianty tytułu

EN

Modular scanning tunneling and atomie force microscope for nanostructures electrical properties measurements

• Konferencja: Krajowa Konferencja Elektroniki (2 ; 09-12.06.2003 ; Kołobrzeg, Polska)
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W artykule omówiono konstrukcję modularnego mikroskopu "Shear force" z interferometryczną detekcją drgań ostrza skanującego umożliwiającego pomiar właściwości elektrycznych próbki w skali pojedynczych nanometrów. Przedstawiono także wstępne wyniki badań topografii i lokalnego prądu emisji wykonanych przy użyciu niniejszego mikroskopu.

EN

We describe here AFM microscope with optical tip oscillation detection. The modular Shearforce/Tunneling Microscope for surface topography measurement and local current emission is described. The measurement instrument presented here is based on the fiber Fabry-Perot interferometer used for the measurement of the conductive microtip oscillation. An advantage of this system its that quantitative measurements of tip vibration amplitude are easily performed. Current emission from the tip renders it possible to nanostructures fabrication by local surface anodisation process. It is also possible to investigate a local electrical surface parameters together with topography measurements.

Słowa kluczowe

PL

mikroskopia sił atomowych; AFM; diagnostyka powierzchni

EN

shear force microscopy; current emission; AFM

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2003
• Tom: Vol. 44, nr 8-9
• Strony: 49--51
• Opis fizyczny: Bibliogr. 4 poz., il.

Twórcy

autor

Sikora A.

• Wydzial Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki, Politechnika Wrocławska

autor

Gotszalk T.

• Wydzial Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki, Politechnika Wrocławska

autor

Szeloch R.

• Wydzial Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki, Politechnika Wrocławska

autor

Radojewski J.

• Wydzial Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki, Politechnika Wrocławska

autor

Sankowska A.

• Wydzial Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki, Politechnika Wrocławska

Bibliografia

• [1] T. Gotszalk, A. Sankowska, W. Orawski, R. Wasielewski, J. Radojewski, ,,Zastosowanie interferometru światłowodowego do detekcji przesunięcia ostrza pomiarowego mikroskopu sił atomowych” Czujniki optoelektroniczne i elektroniczne, Materiały konferencyjne V Konferencji Naukowej COE'98, str. 209-212.
• [2] T. Gotszalk, R. Pędrak, A. Sankowska, W. Orawski, P. Janus, Interferometr światłowodowy do detekcji ruchu włókna pomiarowego w mikroskopie sił atomowych 'Shear force' VII Konferencja Światłowody i ich zastosowania Krasnobród 1999, Tom 11, str. 432.
• [3] T. Gotszalk, R. Pędrak, A. Sankowska, J. Radojewski, P. Grabiec, ,,Modularna mikroskopia pojemnościowa i sił atomowych Shear Force” Materiały VII Konferencji Naukowej ELTE 2000, 1247.
• [4] P. Janus, R. Pędrak, T. Gotszalk, J. Radojewski, ,,Zaawansowane procedury wizualizacji danych pomiarowych w mikroskopii skanującej” Materiały VII Konferencji Naukowej ELTE 2000, 1321.