Detectors of UV and infrared radiation obtained using silicon micromachining

• Autorzy: Dobrzański L.
• Języki publikacji: EN

Abstrakty

EN

Technology of the surface silicon micromachining developed in ITME compnses fabrication of a porous silicon as a sacrificial layer. This is need to suspend device over a cavity and thermally isolate sensing element from the heat sink. Two types of devices have been fabricated and characterised a: bolometer and a termopile.

Słowa kluczowe

EN

micromachine; radiation

• Wydawca: Sieć Badawcza Łukasiewicz - Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych
• Czasopismo: Materiały Elektroniczne
• Rocznik: 2001
• Tom: T. 29, nr 1-2
• Strony: 69--69
• Opis fizyczny: Bibliogr. 2 poz.

Twórcy

autor

Dobrzański L.

• Institute of Electronic Matrials Technology (ITME) ul. Wólczyńska 133, 01919 Warszawa,