Wpływ parametrów technologicznych na właściwości epitaksjalnych warstw węglowych osadzanych z fazy gazowej na podłożach krzemowych

• Autorzy: Żelazko J.

Warianty tytułu

EN

Effect of technological parameters on the properties of carbon epitaxial layers deposited from the gas phase on silicon substrates

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Omówiono wpływ parametrów technologicznych na właściwości warstw węglowych otrzymywanych w procesie plazmowego osadzania z fazy gazowej. Zbadano wpływ autopotencjału katody oraz składu użytych gazów na strukturalne, elektryczne i chemiczne właściwości warstw. Stwierdzono, że typ hybrydyzacji wiązań pomiędzy atomami węgla w warstwie w decydującym stopniu zależny jest od składu fazy gazowej w komorze reaktora.

EN

In this work the influence of plasma deposition parameters on the properties of carbon layers is discussed. The dependence of the structural, electrical and chemical properties of the layers on the r.f. electrode negative selfpolarisation potential as well as on the ambience composition is studied. It is shown that the change of the gaś phase composition has a decisive influence on the bond hybridization of carbon atoms forming the layer.

Słowa kluczowe

PL

warstwa węglowa; epitaksja

EN

carbon coating; epitaxy

• Wydawca: Sieć Badawcza Łukasiewicz - Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych
• Czasopismo: Materiały Elektroniczne
• Rocznik: 2004
• Tom: T. 32, nr 1-4
• Strony: 36--48
• Opis fizyczny: Bibliogr. 8 poz., rys., tab., wykr.

Twórcy

autor

Żelazko J.

• Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych ul. Wólczyńska 133 01-919 Warszawa,

Bibliografia

• [1] Ziemia. Praca zbiór, pod red. K. Maślankiewicza.WP, Warszawa, 1970
• [2] Aisenberg S., Chabott R.: /. Appl. Phys., 42, 1971, 2953
• [3] Mitura S.: Znaczenie elektronów w procesie niskociśnieniowej syntezie diamentu, Zesz. Nauk. Politechniki Łódzkiej, 666, 1992
• [4] Szmidt J.: Diamentopodobne warstwy węglowe wytwarzane metodami plazmowymi na potrzeby mikroelektroniki. Warszawa, Politechnika Warszawska, 1995
• [5] Werbowy A.: Praca magisterska. Warszawa, Politechnika Warszawska, 1995
• [6] Żelazko J.: Praca magisterska. Warszawa, Politechnika Warszawawska, 2003
• [7] Oleś A.: Metody doświadczalne fizyki ciała stałego. Warszawa, 1998
• [8] Pan L.: Kania D.: Diamond: electronic properties and applications, Kluwer, Academic Publishers, 1995