Dobór parametrów stopnia wejściowego fotoodbiornika promieniownia skrajnego nadfioletu

• Autorzy: Mikołajczyk J.

Warianty tytułu

EN

Selection of extreme ultraviolet (EUV) radiation photoreceiver input stage parameters

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W pracy przedstawiono analizę stopnia wejściowego fotoodbiornika przeznaczonego do pomiaru energii promieniowania z zakresu skrajnego nadfioletu. Fotoodbiornik ten składa się z filtru optycznego, skalibrowanej fotodiody krzemowej, przedwzmacniacza ładunkowego oraz układu przetwarzania sygnałów. Umożliwia on bezwzględne pomiary energii impulsów promieniowania o długości fali 13,5 š0,5 nm (FWHM = 7,3%) z niepewnością wynoszącą 7,2%. Przeprowadzone analizy i badania określiły wpływ parametrów przedwzmacniacza na właściwości pomiarowe fotoodbiornika.

EN

Presented is input stage analysis of the photoreceiver used for extreme ultraviolet radiation energy measurement. The device consists of optical filter, calibrated silicon photodiode, charge preamplifier and signal processing system. It enables absolute measurements of 13,5 š 0,5 nm (FWHM = 7,3%) wavelength radiation impulse energy with uncertainty amounting 7,2%. The carried on analyses and tests defined preamplifier parameters’ influence on photoreceiver measurement features.

Słowa kluczowe

PL

fotoodbiornik; energia promieniowania; przedwzmacniacz; filtr optyczny

EN

photoreceiver; ultraviolet; radiation

• Wydawca: Oficyna Wydawnicza Energia [Stowarzyszenie Elektryków Polskich - COSiW]
• Czasopismo: Spektrum
• Rocznik: 2008
• Tom: nr 6-7
• Strony: XIV--XVII
• Opis fizyczny: Bibliogr. 5 poz., rys., wykr.

Twórcy

autor

Mikołajczyk J.

• Wojskowa Akademia Nauk, Instytut Optoelektroniki

Bibliografia

• [1] Lawes R. A., Future trends in high-resolution lithography, Applied Surface Science, t. 154–155, 2000, s. 519–526
• [2] Mackay R. S. , The Future of Lithography after 193 nm Optics, Microelectronic Engineering, t. 41-42, 1998, s. 1 – 74
• [3] Bielecki Z., Mikołajczyk J., Rakowski R., Wojtas J., Measuring system for radiation pulses from gas-puff laser-plasma source, Proc. SPIE, t. 6189, 2006, s. 61891-5
• [4] Korbel K., Front-End Electronic Circuits, AGH University of Science and Technology, Krakow, 2000
• [5] Rogalski A., Bielecki Z., Detection of optical radiation, Handbook of Optoelectronics, Taylor & Francis, New York-London, 2006