Technika mikrosystemów i wybrane metody

• Autorzy: Kozak J.
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W artykule przedstawiono wprowadzenie do techniki mikrosystemów oraz omówiono wybrane metody mikrotechnologii, w tym mikroobróbkę elektroerozyjną i elektrochemiczną.

Słowa kluczowe

PL

technika mikrosystemów; MEMS; MOEMS; mu-TAS; NEMS; NOEMS; zastosowanie mikrosystemów; mikroobróbka elektroerozyjna; mikroobróbka elektrochemiczna; mikroobróbka laserowa; mikrolitografia

EN

microsystem technology; MEMS; MOEMS; mu-TAS; NEMS; NOEMS; MST applications; electrodischarge micromachining; electrochemical micromachining; laser micromachining; microlithography

• Wydawca: MARCOSTA Centrum Handlu i Produkcji Obrabiarek
• Czasopismo: Świat Obrabiarek
• Rocznik: 2006
• Tom: R. 1, nr 4-5
• Strony: 9--15
• Opis fizyczny: Bibliogr. 15 poz., fot., rys.

Twórcy

autor

Kozak J.

• Instytut Mechaniki i Konstrukcji Politechniki Warszawskiej

Bibliografia

• 1. Handbook of Nanotechnology, Ed. Bhushan, Springer 2004.
• 2. NEXUS 2000 Intermediate report The NXUS Road-map Task Group, 2000.
• 3. The MEMS Handbook, Ed. Mohamed Gad-el-Hak, CRC Press, 2002.
• 4. Dario P, Carrozza M., C, Benvenuto A., Menciassi A.,"Micro-systems in biomedical applications", J. Micromech. Microeng. 10 (2000) 235-244.
• 5. Altman J., Military Uses of Microsystem Technologies, Agenda-Verlag, 2001.
• 6. T'ai-Ran Hsu: MEMS & Microsystems (Design and Manufacture). McGraw Hill, N.Y., 2000.
• 7. Warsop C.,"MEMS Aerospace Applications-Flow Control", Proceed. of Symposium on Novel Vehicle Concepts and Emerging Vehicle Technologies, RTO AVT Panel, Brussels, 2003
• 8. Mehregany M., "Introduction to Micro electromechanical Systems" RTO Lecture Series "MEMS Aerospace Applications" Montreal 2002.
• 9. Ayman El-Fatatry,"Optical Microsystems, Micro-Optical-Electro-Mechanical Systems (MOEMS)", RTO Lecture Series "MEMS Aerospace Applications" Montreal 2002.
• 10. Schadow K.,"Introduction to MEMS", RTO Lecture Series "MEMS Aerospace Applications" Montreal 2002.
• 11. Rajurkar K., P., Yu Z., and Kozak J., "Micromachining by EDM and ECM". CIRP Seminar on Micro and Nano Technology, Copenhagen, November 2003.
• 12. Kozak J., "Thermal Problems of Pulse Electrochemical Micro Machining", Bull, of the Polish Academy of Sciences, No.4, 2004.
• 13. Schuster R., Kirchner V., Allonngue Ph., Ertl G.: "Electrochemical Micromachining". Science vol. 289, 2000, pp.98-101.
• 14. Dziuban Jan A. Technologia i zastosowania mikromechanicznych struktur krzemowych i krzemowo-szklanych w technice mikrosystemów. Oficyna Wydawnicza P. Wr., Wrocław, 2004.
• 15. Bossak M., Kozak J., Szmidt J., "Forecasting the development of micro and nanotechnology in Poland from 2004 to 2007." Bullietin of the Polish Academy of Sciences, Technical Sciences, Vol. 52, No.4, pp.372-374, 2004.