Wpływ ujemnej polaryzacji podłoża na strukturę i własności powłok TiN uzyskanych w procesie PVD

Dobrzański, L.A.; Kwaśny, W.

Artykuł - szczegóły

Tytuł artykułu

Wpływ ujemnej polaryzacji podłoża na strukturę i własności powłok TiN uzyskanych w procesie PVD

Autorzy

Dobrzański L.A. , Kwaśny W.

Identyfikatory

Warianty tytułu

Effect of the substrate bias on structure and properties of the TiN coatings obtained in the PVD process

Konferencja

II Krajowa Konferencja "Nowe Materiały - Nowe Technologie w Przemyśle Okrętowym i Maszynowym", Międzyzdroje 2003

Języki publikacji

Abstrakty

W pracy przedstawiono wyniki badań wpływu parametrów pokrywania na strukturę i własności mechaniczne powłok TiN uzyskanych przez rozpylanie magnetronowe w piecu próżniowym na podłożu ze spiekanej stali szybkotnącej typu ASP 30. Oceniono wpływ parametrów rozpylania na skład chemiczny i fazowy, grubość, mikrotwardość oraz parametr chropowatości. Przedstawiono charakterystyczną strukturę oraz topografię powierzchni analizowanych powłok.

The paper presents investigation results of the effect of deposition parameters on structure and mechanical properties of the TiN coatings obtained by magnetron sputtering in the vacuum furnace onto the ASP 30 sintered high speed steel. Effect of sputtering parameters on chemical and phase compositions, thickness, microhardness, and roughness parameter. The characteristic structure and surface topography of the analysed coatings are presented.

Słowa kluczowe

polaryzacja podłoża ujemna polaryzacja podłoża struktura własności powłoka PVD parametry pokrywania właściwości mechaniczne

substrate bias structure properties coating PVD deposition parameters mechanical properties

Wydawca

Wydawnictwo SIGMA-NOT

Czasopismo

Inżynieria Materiałowa

Rocznik

2003

Tom

R. XXIV, nr 6

Strony

453--456

Opis fizyczny

Bibliogr. 18 poz., rys., tab.

Twórcy

autor

Dobrzański L.A.

Politechnika Śląska, Instytut Materiałów Inżynierskich i Biomedycznych, Gliwice

autor

Kwaśny W.

Politechnika Śląska, Instytut Materiałów Inżynierskich i Biomedycznych, Gliwice

Bibliografia

1. Dobrzański L.A., Kwaśny W., Shishkov R., Madejski J.: Journal of Materials Processing Technology, (2001) v. 113,493.
2. Dobrzański L.A., Kwaśny. W.: 8th Annual International Conference on Composites Engineering ICCE/8, Tenerife, Spain, (2001) 195.
3. Dobrzański L.A., Kwaśny W., Bugliosi S.: Journal of Materials Processing Technology (w druku).
4. Dobrzański L.A., Kwaśny W.: "PVD coatings on the ASP 30 sintered high' speed steel." 11th International Metallurgical & Material Conference Metal 2002, 14-16.05. 2002, Hradec nad Moravici, Czech Republic, (2002) CD-ROM
5. Dobrzański L.A., Kwaśny W., Brytan Z., Pancielejko M.: "Effect of he substrate potential on the Ti+Ti(C,N) coatings' properties obtained in the PVD process on the sintered high speed steel" 6th Int. Research/Expert Conf. "Trends in the "Development of Machinery and Associated Technology" TMT 2002, Neum, B&H, 18-22 September, (2002) 167.
6. Dobrzański L.A., Kwaśny W., Pakuła D., Kriz A. „Wpływ yarunków nanoszenia na własności powłok Ti+Ti(CxN1-x) uzyskanych w procesie PVD na podłożu ze spiekanej stali szybkotnącej", 13 th International Summer School Mielno 2002, Modern Plasma Surface Technology, (2002) 233.
7. Dobrzański L.A., Kwaśny W., Kriz A. i Shishkov R.: "Wpływ warunków nanoszenia na własności dwuwarstwowych pokryć powierzchniowych uzyskanych przez rozpylanie magnetronowe". Proc. of the Sc. Conf. on the occasion of the 55th Anniversary of the Technology in Gliwice (2000) 135.
8. Dobrzański L.A., Kwaśny W., Kriż A.: „Struktura i własności carstw Ti+TiN uzyskanych przez rozpylanie magnetronowe na podłożu ze spiekanej stali szybkotnącej", Proc. of tiie Sc. Conf. M3E (2000)67.
9. Thornton J.A.: Journal Vaccum Science Technology, A4(6) (1986) 3059
10. Dobrzański L.A., Adamiak M.: I Krajowa Konf. Nauk. Materiałoznastwo - Odlewnictwo - Jakość (MOJ'97), Kraków, t.I (1997)331.
11. Dobrzański L.A., Gołombek K., Soković M.: 7th Int. Sc. Conf. AMME 1998, Zakopane (1998) 111.
12. Ihiskoy R., Dobrzański L.A., Kwaśny W., Kirilova G., Dermendjiey I.: "Obtaining of (TiMe)/(TiMe)CxN1-x coating in the vacuum furnace by magnetron sputtering on a titanium alloy", 6th International Conference AMTEH'2001, Sozopol, Bułgaria, (2001) 31.
13. Kwaśny W., Dobrzański L.A., Kriz A.: „Własności tribologiczne cienkich warstw uzyskanych w mapetronowym procesie PVD na podłożu ze spiekanej stali szybkotnącej", XXIX Szkoła Inżynierii Materiałowej, Kraków- szczawnica, (2000) 421.
14. Kwaśny W., Dobrzański L.A.:"Struktura, własności mechaniczne oraz odporność erozyjna powłok PVD na podłożu ze spiekanej stali szybkotnącej", XXIX Szkoła Inżynierii Materiałowej, Kraków-Wisła, (2001) 393.
15. Shieu F.S., Cheng L.H., Lin M.H.: Thin Solid Fihns (1997) 138
16. Boving H.J i Hintermann H.E.: Tribology International (1990) 129
17. Huang J.H., Tsai Y.P., Yu G.P.: Thin Solids Films 355-356 (1999) 440
18. Surm H. Kessler O., Hoffmann F., Mayr P. Proc. of 12th Int. Sc. Conf. "Heat Treatment and Surface Engineering Congres", Melbourne(2000)41.

Typ dokumentu

Bibliografia

Identyfikator YADDA

bwmeta1.element.baztech-article-BOS5-0006-0060