Mikrowiązkowe metody badań materiałów.

• Autorzy: Żelechower M.

Warianty tytułu

EN

Microbeam analysis in materials researches.

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Metody badawcze materiałów wykorzystujące wiązki korpuskularne lub wiązki promieniowania elektromagnetycznego o mikronowych i submikronowych średnicach znajdują coraz szersze zastosowanie w obliczu wymogów stawianych przez współczesne technologie. W artykule omówiono trendy w rozwoju aparatury badawczej wykorzystującej mikrowiązki, a służącej do badania struktur o wymiarach nanometrycznych. Podano skrótowe charakterystyki takich metod, jak transmisyjna mikroskopia elektronowa (TEM), analityczna mikroskopia elektronowa (AEM), skaningowa mikroskopia elektronowa (SEM), mikroanaliza rentgenowska (EPMA), spektroskopia masowa jonów wtórnych wzbudzanych zogniskowaną wiązką jonową (FIB-SIMS). Intencją było stworzenie krótkiego przewodnika ułatwiającego wybór odpowiedniej metody badawczej w zależności od cech studiowanego materiału.

EN

Recently in materials studies the methods employing microbeams (both particle and radiation beams) become widely applied with respect to the high requirements expected by modern nanotechnology. Current trends in the development of microbeam instrumentation for nanostructures studies were presented in the paper. Several methods have been briefly reviewed: transmission electron microscopy (TEM), analytical electron microscopy (AEM), scanning electron microscopy (SEM), electron probe microanalysis (EPMA), focused ion beam secondary ion mass spectroscopy (FIB-SIMS). The paper in the author's intention should be understood as a short guide which facilitates selection of an appropriate research method suited to features of studied material.

Słowa kluczowe

PL

metody mikrowiązkowe; aparatura badawcza wykorzystująca mikrowiązki; transmisyjna mikroskopia elektronowa; analityczna mikroskopia elektronowa; skaningowa mikroskopia elektronowa; mikroanaliza rentgenowska; spektroskopia masowa jonów wtórnych wzbudzanych zogniskowaną wiązką jonową

EN

microbeam analysis; microbeam instrumentation; transmission electron microscopy; analytical electron microscopy; scanning electron microscopy; electron probe microanalysis; focused ion beam secondary ion mass spectroscopy

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Inżynieria Materiałowa
• Rocznik: 2001
• Tom: R. XXII, nr 6
• Strony: 1033--1035
• Opis fizyczny: Bibliogr. 8 poz. tab., rys.

Twórcy

autor

Żelechower M.

• Wydział Inżynierii Materiałowej, Metalurgii i Transportu Politechniki Śląskiej

• Politechnika Śląska, Wydział Inżynierii Materiałowej, Metalurgii i Transportu

Bibliografia

• [1] Oleś A.: Metody eksperymentalne fizyki ciała stałego , t. 1- 2, WNT, Warszawa 1983- 1987
• [2] Baun W. L.: Rev. Sci. Instr., Nr 40, 1969, str. 1101
• [3] Żelechower M., Malińki M.: Proc. 4 Tagung Mikrosonde, Edited by A. Röder, L. Küchler, S. Däbritz, Dresden 1978, str. 49
• [4] Love G., Bleay S. M., Chapman A. R., Scott V. D.: Inst. Phys. Conf. Ser. Nr 130, str. 91-94, 1992
• [5] Randle V.: Microtexture determination and its applications, Inst. Mater., Nr 510, Bourne Press, Bournemouth, 1992
• [6] Love G., Scott V. D.: Inst. Phys. Conf. Ser. Nr 90, 1987, str. 349
• [7] Irwin K. D., Hilton G. C., Wollman D. A., MartinisJ. M.: J. Appl. Phys., Nr 83 (8), 1998, str. 3978-3985
• [8] Wollman D. A., Irwin K. D., Hilton G. C., Dulcie L. L., Newbury D. E., Martinis J. M.: J. Microsc., Nr 188 (3), 1997, str. 196-223