Modułowe urządzenie próżniowe do badań procesów PVD i CVD oraz pilotowych wdrożeń technologii przemysłowych

• Autorzy: Samborski T. , Kozioł S. , Matecki K.

Warianty tytułu

EN

Modular device with a vacuum chamber of versatile configuration options for examining PVD and CVD processes and pilot industrial applications

• Konferencja: V Międzynarodowa Konferencja Naukowo-Techniczna "Modułowe technologie i konstrukcje w budowie maszyn'', 26-29.05.2009, Regietów k. Gorlic
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

EN

A vacuum device for realizing various processes of positioning thin surface layers with PVD and CVD methods has been constructed in the Institute for Sustainable Technologies - NRI in Radom. It is designed for many various applications, which cannot be achieved by general device. The developed device is of modular structure, in which each functional group can be selected from the suggested series of types and combined as a whole according to the carried out experiment or the created technology. One of the device modules is the system with a load lock for placing, putting in and taking out samples from the vacuum chamber while the process is in progress.

Słowa kluczowe

PL

urządzenie próżniowe modułowe; badania procesów PVD i CVD; wdrażanie; wdrożenie przemysłowe pilotowe; Instytut Technologii Eksploatacji

EN

modular vacuum device; PVD and CVD process examining; implementation; pilot industrial application; Institute for Sustainable Technologies

• Wydawca: Oficyna Wydawnicza Politechniki Rzeszowskiej ; Sieć Badawcza Łukasiewicz - Warszawski Instytut Technologiczny
• Czasopismo: Technologia i Automatyzacja Montażu
• Rocznik: 2009
• Tom: nr 2
• Strony: 19--23
• Opis fizyczny: Bibliogr. 10 poz., rys.

Twórcy

autor

Samborski T.

autor

Kozioł S.

autor

Matecki K.

• Instytut Technologii Eksploatacji - PIB w Radomiu

Bibliografia

• 1. Burakowski Т., Wierzchoń Т.: Inżynieria powierzchni metali - podstawy, urządzenia, technologie. WNT, Warszawa 1995.
• 2. Bell Т.: Proceedings of the Conference Heat Treatment and Surface Engineering. London (UK) 1987.
• 3. Mazurkiewicz A., Smolik J., Walkowicz J.: New technologies of surface engineering in the area of industrial implementation. Advances in Manufacturing Science and Technology, 2002, 26, 25 - 37.
• 4. Knotek О., Löffler F., Krämer G.: Deposition, properties and performance behaviour of carbide and car-bonitride PVD coatings. Surface and Coatings Technology, 1993,61,320-325.
• 5. Smolik J., Zdunek Z: Investigation of the influence of chemical composition of Ti(CxNi_x) layer on the stresses value in the multilayer coating ТiC/Ti(СxN1-х)TiN, Surface and Coatings Technology, 1999, 116-119,398-403.
• 6. Vogel J.: Technical paper an update of PVD TiN and new generation coatings for cutting and forming tools and component wear parts. International Manufacturing Technology Conference, Surface Treatment of Cutting Tools, Chicago Illinois, 1990.
• 7. Smolik J., Walkowicz J., Tacikowski J.: Influence of the structure of the composite: 'nitrided layer/PVD coating' on the durability of tools for hot working. Surface and Coatings Technology, 2000, 125, 134 -140.
• 8. Vetter J.: Vacuum arc coatings for tools: potential and application. Surface and Coatings Technology, 1995, 76-77,719-724.
• 9. Smolik J., Paszenda Z, Walkowicz J., Marciniak J., Chrzanowski W.: Carbon coatings on implants for traumatology made from the Cr-Ni-Mo steel.. 18th European Conference on Biomaterials, Stuttgart (Germany), 2003.
• 10. Samborski Т., Kozioł S., Matecki К: System wymiany i pozycjonowania podłoży w urządzeniach PVD/CVD. Problemy Eksploatacji, 2008, 2 (39), 129 – 137.