Utwardzenie powierzchni za pomocą supersieci Cu/Ni i CrN/TiN.

• Autorzy: Wolkenberg A. , Wrzesińska H. , Tokarz A. , Bochenek A. , Nitkiewicz Z. , Kudła A. , Karimi A. , Łaszcz A. , Banaszkiewicz A.

Warianty tytułu

EN

Surface hardening by superlattices of Cu/Ni and CrN/TiN.

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Omówiono stan badań właściwości mechanicznych struktur wielowarstwowych z azotków chromu i tytanu. Opisano technologię wykonywania supersieci metodą rozpylania katodowego. Podano wyniki badań twardości otrzymanych warstw w zależności od grubości okresu Alfa obu azotków i ilości powtórzeń (wielokrotności Alfa). Najlepszy uzyskany wynik to twardość ~8000 HV5gram lub ~29/38 GPa. Przedstawiono także wyniki metody utwardzania poprzez pokrywanie supersieciami czystych metali. Osadzenia czystych metali dokonywano galwanotechnicznie, azotków przez rozpylanie katodowe.

EN

There is described the state of the art, of mechanical properties of superlattices composed from metals (Cu and Ni) and of nitrides (TiN and CrN). The results of technology and hardness measurements are presented. The relation between hardness and thickness of superlattice period Alpha and number of periods are measured. The best results which were obtained are: ~8000 HV5gram or ~29-38 GPa for nitrides and 8-9 GPa for Cu/Ni. The nitrides are obtained by active cathode sputtering technique, the metals by galvanomagnetic method.

Słowa kluczowe

PL

utwardzanie powierzchniowe; supersieć; właściwości mechaniczne; pomiar twardości; osadzanie galwanotechniczne; rozpylanie katodowe; metal; azotek

EN

surface hardening; superlattice; mechanical properties; hardness measurements; galvanomagnetic method; cathode sputtering; metal; nitride

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Inżynieria Materiałowa
• Rocznik: 2001
• Tom: R. XXII, nr 3
• Strony: 151--155
• Opis fizyczny: Bibliogr. 8 poz., tab., rys.

Twórcy

autor

Wolkenberg A.

• Wydział Metalurgii i Inżynierii Materiałowej Politechniki Częstochowskiej

autor

Wrzesińska H.

• Instytut Technologii Elektronowej w Warszawie

autor

Tokarz A.

• Wydział Metalurgii i Inżynierii Materiałowej Politechniki Częstochowskiej

autor

Bochenek A.

• Wydział Metalurgii i Inżynierii Materiałowej Politechniki Częstochowskiej

autor

Nitkiewicz Z.

• Wydział Metalurgii i Inżynierii Materiałowej Politechniki Częstochowskiej

autor

Kudła A.

• Instytut Technologii Elektronowej w Warszawie

autor

Karimi A.

• Swiis Federal Institute of Technology, Szwajcaria; ITE w Warszawie

autor

Łaszcz A.

• Instytut Technologii Elektronowej w Warszawie

autor

Banaszkiewicz A.

• Wydział Metalurgii i Inżynierii Materiałowej Politechniki Częstochowskiej

• Politechnika Częstochowska, Wydział Metalurgii i Inżynierii Materiałowej

Bibliografia

• [1] Helmersson U., Todorova S., Barnett S. A., Sundgren J. E.: Market L. C., Greene: J. E., J. Appl. Phys., 62, 481 (1987)
• [2] Mirkarimi P. B., Hultmann L., Bamett S.A.: Appl. Phys. Lett., 57, 2654 (1990)
• [3] Shinn M., Hultmann L., Barnett S.A.: J. Mater. Sci., 7,901 (1992)
• [4] Chu X., Wong M. S., Sproul W. D., Rhode S. L., Bamett S. A.: J. Vac. Sci. Technol., A10, 1604 (1992)
• [5] Chu X., Barnett S.A., Wong M. S., Sproul W. D.: Surf. Coat. Technol., 57. 13 (1993)
• [6] Yashar P Bamett S.A., Rechner J., Sproul W. D.: J. Vac. Sci. Technol., A15, 2913 (1998)
• [7] Barnett S., Madan A.: Superhard superlattices, Physics World, 11, 45 (1998)
• [8] Tokarz A., Wolkenberg A.: XVII Szkoła Inżynierii Materiałowej, Kraków Ustroń, str. 243 (1999)