Osadzanie laserem impulsowym - metoda PLD.

Burakowski, T.; Major, B.

Artykuł - szczegóły

Tytuł artykułu

Osadzanie laserem impulsowym - metoda PLD.

Autorzy

Burakowski T. , Major B.

Identyfikatory

Warianty tytułu

Pulsed laser deposition - PLD method.

Konferencja

IV Ogólnopolska Konferencja Naukowa 'Obróbka powierzchniowa', 5-8 października 1999 r., Kule k/Częstochowy

Języki publikacji

Abstrakty

Omówiono wykorzystanie zjawiska ablacji laserowej do otrzymywania cienkich powłok. Przedstawiono podstawowe zjawiska zachodzące podczas ablacji laserowej i przenoszenia strugi na wsad. Podano charakterystykę metody PLD i omówiono stosowaną aparaturę. Dokonano przeglądu typów powłok uzyskiwanych metodą PLD.

Application of ablation phenomena in thin layers production was described. Fundamentals of laser ablation and plume transfer to substrate in pulsed laser deposition (PLD) were given together with characteristic properties and the used equipment. Overview of coatings obtained by means of the PLD was presented.

Słowa kluczowe

PLD osadzanie laserem impulsowym zjawisko ablacji laserowej cienka powłoka przenoszenie strugi na wsad powłoka

PLD pulsed laser deposition ablation phenomena thin layer plume transfer to substrate coating

Wydawca

Wydawnictwo SIGMA-NOT

Czasopismo

Inżynieria Materiałowa

Rocznik

1999

Tom

R. XX, nr 5

Strony

339--343

Opis fizyczny

Bibliogr. 66 poz., rys.

Twórcy

autor

Burakowski T.

Instytut Mechaniki Precyzyjnej Warszawa, Politechnika Radomska

autor

Major B.

Instytut Metalurgii i Inżynierii Materiałowej PAN w Krakowie

Instytut Mechaniki Precyzyjnej, Warszawa

Bibliografia

1. Advanced Surface Coatings: a Handbook of Surface Enginering, Edited by D.S. Rickerby and A. Matthews, Publishcd in the USA by Chapman and Hall (1991).
2. Burakowski T., Wierzchoń T.; Inżynieria Powierzchni Metali, WNT, Warszawa 1995.
3. Pulsed Laser Deposition of Thin Films, Edited by D.B. Chrisey and G.K. Hubler, Published in the USA by John Wiley and Sons (1994).
4. Burakowski T., Wierzchoń T.; Surface Engineering of Metals. Principles, Equipment, Technology, CRS Press, Boca Ratan-London-New York-Washington. D.C. , 1999.
5. Kurz W., Trivedi R.; Mat.Sci. and Engineering A 179/A 180 (1994) 46.
6. Gregson V.G., in Laser Materials Processing, M. Bass, Ed. (North Holland, Amsterdam) (1983) 201.
7. Singh R.K., Viatella J.; Journal of Metals, 3 (1992) 20.
8. Laser Ablation in Materials Processing: Fundamentals and Applications; Editors: B. Braren, J.J. Dubowski, D.P. Norton; Materials Research Society Vol. 285, Pittsburg, Pensylvania (1993).
9. Greer J.A, Commercial Scale-up of Pulsed Laser Deposition. In: Pulsed Laser Deposition of Thin Films, Edited by D.B.Chrisey and G.K.Hubler, Published in the USA by John Wiley and Sons (1994).
10. Laser Processing, Surface Treatment and Film Deposition, Edited by J. Mazunder, O. Coude, R.Villar, W.Steen; Kluvert Acad. Publs. (1996).
11. Krebs H-U.; International Journal of Non-Equilibrium Processing, Vol. 10 (1997) 3.
12. Major B., Ebner R., Kusiński J., Moroiel J., Maziarz W., Wołczyński W.; Inżynieria Materiałowa, 4 (1998) 1057.
13. Major B., Ebner R.; Thin Solid Films (w przygotowaniu).
14. Simon R.; Solid State Technology. 32 (1989) 141.
15. Foote H.C, Jones B.B., Hunt B.D., Barner J.B., Yasquez R.P., Bajuk L.J.; Physica C, 201 (1992) 176.
16. Nerk N., Gerri M., Marine WJ., Pailharey D., Mathey Y., Sentis M., Delaporte P., Forestier B., Fontaine B.; Mat. Sci. and Engineering B, B14, (1992) 134.
17. Kantek W., Roas B., Schultz L.; Thin Solid Films; 191 (1990) 317.
18. Ranesh R., Inem A., Sands T., Rogers C.T.; Mat. Sci. and Engineering B, B 14 (1992) 188.
19. Faltyn S.R., Dye R.C., Gracia A.R., Nagar N.S., Mucnchansen R.E.; Thin Solid Films, 218 (1992) 310.
20. Kwok H.S.; Thin Solid Films, 218 (1992) 277.
21. Tochitskii E.I., Sviridovich O.G., Gololobov E.M., Turtsevich D.; Physica Status Solidi, 122,( 1990) 555.
22. Pramanick S., Narayan J.; Journal of Applied Phyysics, 73 (1993) 316.
23. Peters C.H., Bernasek S.L., Venkatcsan T., Piqne A., Harshavardhon K.S.; Journal of Applied Physics, 74 (1993) 3194.
24. Bloblin A.A., Kondidov A.V., Kovalev A.S., Korneev V.V., Seleznov B.V.; Superconductor Science and technology, 5 (1992) 621.
25. Yamauchi N.Y., Kubo K., lchikawa M., Yamamoto K., Sugii N., Tanaka S.; Japanese Journal of Applied Physics, 31 (1992) 1024.
26. Mao S.N., Xi X.X., Bhattacharya S., Li Q., Venkatesan T., Peng J.L., Greene R.L., Mao J., Wu D.H., Anlage S.M. Applied Physics Letters, 61 (1992) 2365.
27. Findikoglu A.T., Donghty C., Bhattacharya S„ Xi X.X., Li Q., Venkatesan T., Fahey R.E., Streuss A.J., Philips J.M.; Applied Physics Letters, 61 ( 1992) 1718.
28. Chern M.Y., Gupte A., Hussey B.W.; Applied Physics Lctters.60 (1992) 3045
29. Ramesh R., Chan W.K. , Wilkens B., Gilchrist H., Sends T., Terescon I.M.,Forki D.K., Lee J., Safari A.; Applied Physics Letters, 16 (1992) 1537.
30. Vispute R.D., Kanetar S.M., Ogle S.B., Rajkumar K.C., Madhukar A., Parikh N., Patnaik B.; Physica C, 199 (1992) 59.
31. Brorsson G., Boikov Y., Ivanov Z.G., Olsson E., Alarco LA., Claeson T.; Journal of Applied Physics, 72 (1992) 199.
32. Hamet J.F., Mercey B., Hervieu M ., Ravean B.; Physica C, 193 (1992) 465.
33. Biancomi M., Correra L., Nicoletti S., Servidori M., Lamagna A., Balmaseda M.S.; Mat. Sci. and Engineering B, B14 (1992) 422.
34. Alarco J.A., Brorsson G., Ivanov Z.G., Nilsson P., Olsson E., Lofgren M.; Applied Physics Letters, 61 (1992) 723.
35. Wu X.D., Mueuchausen R.E., Nagar N.S., Piqne A., Edwards R., Wilkaus B., Hwang D.M.; Applied Physics Letters, 58 (1991) 304.
36. Wiener-Amear E., Kerber G.L., McFall J.E., Spargo J.W., Toth A.G.; Applied Physics Letters, 56 (1990) 1802.
37. Singu R.K., Narayan J.; Journal of Applied Physics, 67 (1990) 3785.
38. Singu R.K. , Narayan J., Singu A.K.; Journal of Applied Physics, 67 (1990) 3452.
39. Kotula P.G., Corter C.B., Norton M.G.; Journal Materials Science Letters, 13 (1994) 1275.
40. Treece R., Horwitz J.S., Chrisey D.B.; Conf. Proc."Materials Research Society" Pittsburg USA, (1994).
41. Chen X., Mazunder J.; Journal of Applied Physics, 76 (1994) 3914.
42. Krentz E.W., Krosche M., Sung H., Voss A., Jurgens A.; Surface and Coatings Technology, 53 (1992) 57.
43. Scheibe H., Schultrich B., Drescher D.; Surface and Coatings Technology, 75 (1995) 813.
44. Doranloo F., Lee T.J., You J.H., Park H., Collins C.B.; Surface and Coatings Technology, 63 (1993) 564.
45. Narayan J., Goldbole V.P., Matera G., Singh R.K. ; Journal of Applicd Physics, 71 (1992) 966.
46. Zabnicki J.S., Florkey J.E. , Walck S.D., Bultman J.E., McDevitt N.T.; Surface and Coatings Technology, 77 (1995) 400.
47. Prasad S.V., Zabnicki J.S. , Dyhouse V.J.; Journal Materials Science Letters, 11 (1992) 1282.
48 .Seeler W.J., Donley M.S., Zabnicki J.S., Walck S.P. , Dyhouse V.J.; Surface and Coatings Technology, 56 (1993) 125.
49. McDevitt N.T., Donley M.S., Zabnicki J.S.; Wear, 166 (1193) 65.
50. Kreutz E.W., Alunovic M., Koltzbucher T., Martin M., Wesner D.A.; Surface and Coatings Technology, 75 (1995) 1012.
51. Kreutz E.W., Aden M., Alunovic M., Voss A.; Surface Coatings Technology, 68/69 (1994) 244.
52. Kreutz E.W., Alunovic M., Pfloging W., Sung W., Wesner D.A.; Surface Coatings Technology, 68/69 (1994) 238.
53. Pramanick S., Narayan J.; Conf.Proc. "Chemical Metals and Ceramics", Boston, Massachusetts USA (1991).
54. Xu X., Zheng L., Xin H., Lin C., Gu M., Cao Z., Okuyama M.; Materials Letters, 25 (1995) 175.
55. Zehnder T., Belmer J. , Luthy W., Weber H.P.; Thin Solid Films, 263 (1995) 198.
56. Dhote A.M., Ogale S.B.; Applied Physics Letters, 64 (1994) 2809.
57. Amirhaghi S., Li Y.H., Kilner J.A., Boyd I.W.; Mat. Sci. and Engineering B, 34 (1995) 192.
58. Gill D.S., Eason R.W., Mendiola J., Chandler P.J.; Materials Letters, 25 (1995) 1.
59. Dcsu S.B, Vijay D.P.; Materials Science and Enginering B, 32 (1995) 78.
60. Pedraza A.J., DeSilva M.J., Kumar R.A., Lowndes D.H.; Journal of Applied Physics, 77 (1995) 5176.
61. Pedraza A., Kumar R.A., Lowndes D.H.; Applied Physics Letters, 66 (1995) 1065.
62. Krebs H., Breniert O; Applied Physics Letters, 62 (1993) 2341.
63. Jackson T.J., Palmer S.B.; Journal of Applied Physics, 27 (1994) 1581.
64. Huang E., Lee T.M., Lambert D.N., Stancil D.D.; Materials Letters, 21 (1994) 365.
65. Shrates T.V, Cugat O., Lunney J.G., Cocy J.M.; Journal of Applied Physics, 73 (1993) 6845.
66. Konstantinov L., Nowak R., Hess P.; Thin Solid Films, 218 (1992) 15.

Typ dokumentu

Bibliografia

Identyfikator YADDA

bwmeta1.element.baztech-article-BOS3-0001-0078