Aspekty połączeń elementów składowych układów MEMS - Micro-Electro-Mechanical-System.

• Autorzy: Reifur B.

Warianty tytułu

EN

Aspects of systems connections building of component units of Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS).

• Konferencja: Konferencja Naukowo-Techniczna "Połączenia Montażowe" 20-22.06.2007 Nozdrzec k. Dynowa.
• Języki publikacji: PL

Słowa kluczowe

PL

połączenie; Micro-Electro-Mechanical-System; MEMS; element składany

EN

joint; micro electro-mechanical system; MEMS; component unit

• Wydawca: Oficyna Wydawnicza Politechniki Rzeszowskiej ; Sieć Badawcza Łukasiewicz - Warszawski Instytut Technologiczny
• Czasopismo: Technologia i Automatyzacja Montażu
• Rocznik: 2007
• Tom: nr 2-3
• Strony: 59--62
• Opis fizyczny: Bibliogr. 4 poz., rys.

Twórcy

autor

Reifur B.

• Politechnika Wrocławska,

Bibliografia

• 1. M. Abraham, W. Ehrfeld, V. Hessel, K.P. Lacher and A. Pickard, Microsystem Technology, Elsevier, 1998, s. 47.
• 2. Mech 466, N. Dechev, University of Victoria, 2006.
• 3. N. Dechev, Advanced Microfabrication Technologies, 2006.
• 4. Brian Patrick Trease, Thermal Micromechanisms for Out-of-Plane Actuation, Department of Mechanical Engineering, 2001.