Conventional and hybrid first principle neural network approaches to model the gas phase kinetics and nucleation of silicon nitride

Cherbański, R.

Artykuł - szczegóły

Tytuł artykułu

Conventional and hybrid first principle neural network approaches to model the gas phase kinetics and nucleation of silicon nitride

Autorzy

Cherbański R.

Wybrane pełne teksty z tego czasopisma

http://journals.pan.pl/cpe

Identyfikatory

Warianty tytułu

Porównanie podejścia konwencjonalnego i hybrydowego do modelowania kinetyki reakcji chemicznej w fazie gazowej i nukleacji azotku krzemu

Języki publikacji

Abstrakty

Two approaches have been presented to model the complex gas phase kinetics and nucleation of silicon nitride from the gaseous precursors: silane and ammonia in a laser-induced chemical vapour precipitation reactor. A comparison between the conventional and hybrid first principle-neural network model was made.

Przedstawiono dwie metody modelowania kinetyki złożonej reakcji chemicznej w fazie gazowej z jednoczesną nukleacją azotku krzemu z gazowych reagentów, silanu i amoniaku, w reaktorze typu CVP. Dokonano porównania modelu konwencjonalnego z modelem hybrydowym.

Słowa kluczowe

nucleation silicon nitride

azotek krzemu nukleacja

Wydawca

Komitet Inżynierii Chemicznej i Procesowej Polskiej Akademii Nauk

Czasopismo

Chemical and Process Engineering

Rocznik

2009

Tom

Vol. 30, z. 4

Strony

523--544

Opis fizyczny

Bibliogr. 37 poz.,Wykr., tab.,

Twórcy

autor

Cherbański R.

Warsaw University of Technology, Department of Chemical and Process Engineering, ul. Waryńskiego 1, 00-645 Warsaw, Poland

Bibliografia

[1] HLAVACEK V., PUSZYNSKI J.A., Ind. Eng. Chem. Res., 1996, 35, 349.
[2] HAGGERTY J.S., CANNON W.R., [In:] J.I. Steinfeld (Ed.), Laser-Induced Chemical Processes, Plenum Press, New York, 1981, p. 165.
[3] HAGGERTY J.S., CANNON W.R., Sinterable powders from laser driven reactions, Report on Contract N00014-77-C-0581. M.I.T., Cambridge, Massachusetts, 1978.
[4] TRZECIAK T.M., CHERBANSKI R., MARIJNISSEN J.C.M., PODGORSKI A., GRADON L., Design and modelling of laser aerosol reactor, PARTEC 2004, Nuremberg, Germany, 2004, P127.
[5] BULSARI A.B., Neural networks for chemical engineers. Computer-aided chemical engineering, Vol. 6, 1995.
[6] ZURADA J.M., Introduction to Artificial Neural Systems, PWS Publishing Company, Boston, 1992.
[7] BISHOP C.M., Neural Networks for Pattern Recognition, Oxford University Press, Oxford, 1995.
[8] GALVAN I.M., ZALDIVAR J.M., HERNANDEZ H., MOLGA E., Comput. Chem. Eng., 1996, 20, 1451.
[9] MOLGA E., Cherbanski R., Chem. Eng. Sci., 1999, 54, 2467.
[10] MOLGA E.J., Westerterp K.R., Stud. Surf. Sci. Catal., 1997, 109, 379.
[11] FÖRSTER J., VON HOESSLIN M., UHLENBUSCH J., Appl. Phys. B-Lasers O., 1996, 62, 609.
[12] EL-DIASTY F., Opt. Commun., 2004, 241, 121.
[13] KRUIS F.E., J. Eur. Ceram. Soc., 1998, 18, 1025.
[14] FRIEDLANDER S.K., Smoke, Dust and Haze: Fundamentals of Aerosol Behavior, Wiley, New York, 1977.
[15] PSICHOGIOS D.C., UNGAR L.H., AICHE J., 1992, 38, 1499.
[16] O’NEAL H.E., RING M.A., MARTIN J.G., NAVIO M.T., J. Phys. Chem. A, 1998, 102, 8493.
[17] HU S.W., WANG Y., WANG X.Y., CHU T.W., LIU X.Q., J. Phys. Chem. A, 2003, 107, 9189.
[18] COLTRIN M.E., KEE R.J., EVANS G.H., J. Electrochem. Soc., 1989, 136, 819.
[19] MICK H.J., MARKUS M.W., ROTH P., SMIRNOV V.N., Ber. Bunsenges. Phys. Chem., 1995, 99, 880.
[20] SWIHART M.T., CARR R.W., J. Phys. Chem. A, 1998, 102, 1542.
[21] BECERRA R., WALSH R., J. Phys. Chem., 1987, 91, 5765.
[22] KUSHNER M.J., J. Appl. Phys., 1988, 63, 2532.
[23] JASINSKI J.M., BECERRA R., WALSH R., Chem. Rev., 1995, 95, 1203.
[24] BEACH D.B., JASINSKI J.M., J. Phys. Chem., 1990, 94, 3019.
[25] ROUQUET S., DOLLET A., TEYSSANDIER F., Kinetics of gas phase reactions in the Si-H system, [In:] M. Allendorf (Ed.), Proc. 194th Meeting of the Electrochemical Society, Symposium: Fundamental Gas phase and Surface Chemistry of Vapor Phase Materials Synthesis, the Electrochemical Society, Pennington NJ, 1998.
[26] COLTRIN M.E., KEE R.J., MILLER J.A., J. Electrochem. Soc., 1984, 131, 425.
[27] RING M.A., O’NEAL H.E., J. Phys. Chem., 1992, 96, 10848.
[28] KUSHNER M.J., J. Appl. Phys., 1992, 71, 4173.
[29] BOZZELLI J.W., DEAN A.M., Int. J. Chem. Kinet., 1995, 27, 1097.
[30] ROHRIG M., ROMMING H.-J., WAGNER H.G., Ber. Bunsenges. Phys. Chem., 1994, 98, 1332.
[31] HANSON R.K., SALIMIAN S., [In:] W.C. Gardiner Jr. (Ed.), Combustion Chemistry, Springer-Verlag, New York, 1984.
[32] MAYER S.W., SCHIELER L., JOHNSTON H.S., Symp. Int. Combust. Proc., 1967, 11, 837.
[33] DEPPE J., FRIEDRICHS G., IBRAHIM A., ROMMING H.-J., WAGNER H.G., Ber. Bunsenges. Phys. Chem., 1998, 102, 1474.
[34] DIESEN R.W., J. Chem. Phys., 1963, 39, 2121.
[35] CLYNE M.A.A., STEDMAN D.H., J. Phys. Chem., 1967, 71, 3071.
[36] AVRAMENKO L.I., KRASNENKOV V.M., Bull. Acad. Sci. USSR Div. Chem. Sci. (in Eng.), 1966, 15, 394.
[37] WARNATZ J., Rate coefficients in the C/H/O system, [In:] W.C. Gardiner Jr., (Ed.), Combustion Chemistry, Springer-Verlag, New York., 1984.

Typ dokumentu

Bibliografia

Identyfikator YADDA

bwmeta1.element.baztech-article-BGPK-2578-9678