Powiadomienia systemowe
- Sesja wygasła!
- Sesja wygasła!
Tytuł artykułu
Autorzy
Wybrane pełne teksty z tego czasopisma
Identyfikatory
Warianty tytułu
Porównanie podejścia konwencjonalnego i hybrydowego do modelowania kinetyki reakcji chemicznej w fazie gazowej i nukleacji azotku krzemu
Języki publikacji
Abstrakty
Two approaches have been presented to model the complex gas phase kinetics and nucleation of silicon nitride from the gaseous precursors: silane and ammonia in a laser-induced chemical vapour precipitation reactor. A comparison between the conventional and hybrid first principle-neural network model was made.
Przedstawiono dwie metody modelowania kinetyki złożonej reakcji chemicznej w fazie gazowej z jednoczesną nukleacją azotku krzemu z gazowych reagentów, silanu i amoniaku, w reaktorze typu CVP. Dokonano porównania modelu konwencjonalnego z modelem hybrydowym.
Słowa kluczowe
Czasopismo
Rocznik
Tom
Strony
523--544
Opis fizyczny
Bibliogr. 37 poz.,Wykr., tab.,
Twórcy
autor
- Warsaw University of Technology, Department of Chemical and Process Engineering, ul. Waryńskiego 1, 00-645 Warsaw, Poland
Bibliografia
- [1] HLAVACEK V., PUSZYNSKI J.A., Ind. Eng. Chem. Res., 1996, 35, 349.
- [2] HAGGERTY J.S., CANNON W.R., [In:] J.I. Steinfeld (Ed.), Laser-Induced Chemical Processes, Plenum Press, New York, 1981, p. 165.
- [3] HAGGERTY J.S., CANNON W.R., Sinterable powders from laser driven reactions, Report on Contract N00014-77-C-0581. M.I.T., Cambridge, Massachusetts, 1978.
- [4] TRZECIAK T.M., CHERBANSKI R., MARIJNISSEN J.C.M., PODGORSKI A., GRADON L., Design and modelling of laser aerosol reactor, PARTEC 2004, Nuremberg, Germany, 2004, P127.
- [5] BULSARI A.B., Neural networks for chemical engineers. Computer-aided chemical engineering, Vol. 6, 1995.
- [6] ZURADA J.M., Introduction to Artificial Neural Systems, PWS Publishing Company, Boston, 1992.
- [7] BISHOP C.M., Neural Networks for Pattern Recognition, Oxford University Press, Oxford, 1995.
- [8] GALVAN I.M., ZALDIVAR J.M., HERNANDEZ H., MOLGA E., Comput. Chem. Eng., 1996, 20, 1451.
- [9] MOLGA E., Cherbanski R., Chem. Eng. Sci., 1999, 54, 2467.
- [10] MOLGA E.J., Westerterp K.R., Stud. Surf. Sci. Catal., 1997, 109, 379.
- [11] FÖRSTER J., VON HOESSLIN M., UHLENBUSCH J., Appl. Phys. B-Lasers O., 1996, 62, 609.
- [12] EL-DIASTY F., Opt. Commun., 2004, 241, 121.
- [13] KRUIS F.E., J. Eur. Ceram. Soc., 1998, 18, 1025.
- [14] FRIEDLANDER S.K., Smoke, Dust and Haze: Fundamentals of Aerosol Behavior, Wiley, New York, 1977.
- [15] PSICHOGIOS D.C., UNGAR L.H., AICHE J., 1992, 38, 1499.
- [16] O’NEAL H.E., RING M.A., MARTIN J.G., NAVIO M.T., J. Phys. Chem. A, 1998, 102, 8493.
- [17] HU S.W., WANG Y., WANG X.Y., CHU T.W., LIU X.Q., J. Phys. Chem. A, 2003, 107, 9189.
- [18] COLTRIN M.E., KEE R.J., EVANS G.H., J. Electrochem. Soc., 1989, 136, 819.
- [19] MICK H.J., MARKUS M.W., ROTH P., SMIRNOV V.N., Ber. Bunsenges. Phys. Chem., 1995, 99, 880.
- [20] SWIHART M.T., CARR R.W., J. Phys. Chem. A, 1998, 102, 1542.
- [21] BECERRA R., WALSH R., J. Phys. Chem., 1987, 91, 5765.
- [22] KUSHNER M.J., J. Appl. Phys., 1988, 63, 2532.
- [23] JASINSKI J.M., BECERRA R., WALSH R., Chem. Rev., 1995, 95, 1203.
- [24] BEACH D.B., JASINSKI J.M., J. Phys. Chem., 1990, 94, 3019.
- [25] ROUQUET S., DOLLET A., TEYSSANDIER F., Kinetics of gas phase reactions in the Si-H system, [In:] M. Allendorf (Ed.), Proc. 194th Meeting of the Electrochemical Society, Symposium: Fundamental Gas phase and Surface Chemistry of Vapor Phase Materials Synthesis, the Electrochemical Society, Pennington NJ, 1998.
- [26] COLTRIN M.E., KEE R.J., MILLER J.A., J. Electrochem. Soc., 1984, 131, 425.
- [27] RING M.A., O’NEAL H.E., J. Phys. Chem., 1992, 96, 10848.
- [28] KUSHNER M.J., J. Appl. Phys., 1992, 71, 4173.
- [29] BOZZELLI J.W., DEAN A.M., Int. J. Chem. Kinet., 1995, 27, 1097.
- [30] ROHRIG M., ROMMING H.-J., WAGNER H.G., Ber. Bunsenges. Phys. Chem., 1994, 98, 1332.
- [31] HANSON R.K., SALIMIAN S., [In:] W.C. Gardiner Jr. (Ed.), Combustion Chemistry, Springer-Verlag, New York, 1984.
- [32] MAYER S.W., SCHIELER L., JOHNSTON H.S., Symp. Int. Combust. Proc., 1967, 11, 837.
- [33] DEPPE J., FRIEDRICHS G., IBRAHIM A., ROMMING H.-J., WAGNER H.G., Ber. Bunsenges. Phys. Chem., 1998, 102, 1474.
- [34] DIESEN R.W., J. Chem. Phys., 1963, 39, 2121.
- [35] CLYNE M.A.A., STEDMAN D.H., J. Phys. Chem., 1967, 71, 3071.
- [36] AVRAMENKO L.I., KRASNENKOV V.M., Bull. Acad. Sci. USSR Div. Chem. Sci. (in Eng.), 1966, 15, 394.
- [37] WARNATZ J., Rate coefficients in the C/H/O system, [In:] W.C. Gardiner Jr., (Ed.), Combustion Chemistry, Springer-Verlag, New York., 1984.
Typ dokumentu
Bibliografia
Identyfikator YADDA
bwmeta1.element.baztech-article-BGPK-2578-9678